Estudio de parámetros atómicos y moleculares en ... - FaMAF

Capítulo 4: Estudio de Parámetros Experimentales _________________________________________________
espectro de Si, debido a la baja energía de incidencia usada para su medición. De hecho, los valores
obtenidos a partir de las ecuaciones (4.32), (4.35) y (4.39) son f E =0,05 y 0,14; f N =0,99 y 0,94; θ=21ºy
31º, para los patrones de Mg y Si, respectivamente, es decir, que los efectos son más importantes para
Si. Además, la gruesa subestimación en la descripción de la zona del pico C-Kα en el espectro de Si
sin realizar ninguna corrección (figura 4.23a) es esperada debido a que la baja energía de excitación es
muy efectiva para la ionización de los átomos de carbono en el recubrimiento conductor.
Por otro lado, debe tenerse en cuenta que un error en el valor de la energía de incidencia efectiva
puede producir errores importantes en la evaluación de las secciones eficaces de ionización. En el caso
ilustrado en la figura 4.23b, por ejemplo, el valor de la sección eficaz para Si es sobrestimada en un
33,5% cuando la energía de incidencia se toma igual al valor nominal, en vez de tomar el valor
efectivo luego de que el haz atraviesa ambas capas.
Intensidad [10 4 cuentas]
6
4
2
0
6
4
2
0
a)
C-Kα
b)
C-Kα
O-Kα
O-Kα
x15
x15
Mg-Kα
χ 2
=149
χ 2 =30.1
Intensidad [10 3 cuentas]
6
4
2
0
-2
-4
6
4
2
C-Kα
O-Kα
a)
χ 2 =395
Si-Kα
b)
χ 2 =186
6
4
c)
C-Kα
O-Kα
χ 2 =18.3
0
6
4
c)
χ 2 =38.4
2
x15
2
0
0
0.4 0.8 1.2 1.6
Energía [keV]
0.4 0.8 1.2 1.6 2.0
Energía [keV]
Figura 4.23: Ejemplos de las diferentes etapas en la predicción de un espectro medido con un EDS de Mg a
E o = 15 keV (izquierda), y de Si a 3 keV (derecha), relacionados co n la presencia de una capa de óxido y
recubrimiento de carbono. Puntos: datos experimentales; línea negra: predicción; línea gris: diferencia entre el
espectro medido y el calculado. (a): Se ignora la presencia de ambas capas. (b): Espectro predicho teniendo
en cuenta sólo la generación de rayos x y atenuación en ambas capas. (c): Se agrega además la influencia de
los parámetros f E , f N yθ.
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