Estudio de parámetros atómicos y moleculares en ... - FaMAF

Capítulo 4: Estudio de Parámetros Experimentales _________________________________________________
mejor ajuste. La importancia de los efectos estudiados decrece desde la figura 4.24a hasta la 4.24e,
como puede verse en los valores de χ 2 correspondientes. En este caso particular, el parámetro, más
influyente es f E , el segundo f N y el tercero θ; no obstante el orden de importancia podría ser diferente
en otros casos.
4.3.4 Conclusiones
La influencia en el espectro de emisión inducido por electrones de los efectos asociados a la
presencia de un recubrimiento de carbono y una capa de óxido espontáneo en superficies metálicas fue
estudiada de manera separada. La fracción de energía perdida por los electrones incidentes al atravesar
las capas, la fracción de electrones transmitidos y el ángulo de deflexión promedio fueron estudiados
mediante simulaciones Monte Carlo. Se obtuvieron expresiones analíticas para los tres parámetros
mencionados a partir de los resultados de las simulaciones en función de la energía de incidencia, los
espesores másicos y los números atómicos involucrados. Estas expresiones fueron implementadas en
el programa POEMA para la determinación de espesores y la realización de análisis cuantitativos. La
presencia de las capas afecta el modelado del espectro a través de diferentes procesos que involucran
la generación y la atenuación de los rayos x característicos y de Bremsstrahlung en el substrato y en
las capas.
Las correcciones introducidas al modelo espectral fueron evaluadas con espectros experimentales
correspondientes a estándares de Mg y Si medidos a diferentes energías de excitación. Los espectros
fueron ajustados de manera satisfactoria cuando todos los efectos estudiados fueron considerados.
Los espesores de ambas capas fueron determinados asumiendo ciertos modelos para los factores
que aparecen en la ecuación (4.44) y (4.46). De todas maneras, algunos de ellos no se conocen bien
para bajas energías, particularmente la eficiencia de detección del espectrómetro EDS. No obstante,
logramos una buena descripción del espectro, lo cual es necesario para realizar análisis cuantitativos
confiables.
Deben hacerse investigaciones adicionales tanto para incluir el Bremsstrahlung generado en las
capas, como para extender este estudio a otros materiales típicamente usados como recubrimientos
conductores en EPMA.
Finalmente debe remarcarse que la capa conductora y óxido superficial también afectan la
emisión de los electrones retrodispersados en el sustrato. Por esta razón, sería de interés investigar su
influencia en las imágenes de contraste químico que pueden obtenerse mediante este tipo de señal.
90