Estudio de parámetros atómicos y moleculares en ... - FaMAF

Capítulo 7: Determinación de Secciones Eficaces de Ionización en capas K para C, O, Si, Al y Ti ____________
intensidad en el espectro de reflectividad cae a la mitad de la intensidad máxima registrada. En la
figura 7.2 se muestran los espectros XRR, junto con la posición del ángulo crítico para cada uno de las
películas estudiadas.
TiO 2
Ti
log (Intensidad)
SiO 2
Si
Al 2
O 3
Al
0 1 2 3 4 5 6 7
2θ [º]
Figura 7.2: Espectros XRR medidos de las películas estudiadas. Se indica además la posición del ángulo
crítico para cada espectro.
El espesor lineal puede determinarse a partir de las posiciones de los mínimos y los máximos de
las oscilaciones en el espectro, o a partir de la transformada de Fourier del espectro. Debido a que las
oscilaciones están montadas sobre una función decreciente, no es trivial extraer la posición de los
máximos y mínimos en el espectro. Además, la determinación se complica en algunos espectros
debido a la estadística de medición y rugosidad de la capa depositada que suaviza las oscilaciones. Por
este motivo, decidimos determinar la posición de los mínimos y los máximos a partir del espectro que
resulta de restarle al espectro original, una función, que llamaremos “función base”, que describa el
comportamiento decreciente. Esta función base se determinó de dos maneras:
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