Estudio de parámetros atómicos y moleculares en ... - FaMAF

Capítulo 7: Determinación de Secciones Eficaces de Ionización en capas K para C, O, Si, Al y Ti ____________
Como puede verse en la tabla, los espesores obtenidos con los distintos métodos resultaron
bastante similares, presentando diferencias menores que el 7% en los casos en los que es posible
realizar una comparación. Los valores obtenidos por el método directo son los que presentan mayor
error, no obstante, creemos que tanto el espesor como la incerteza determinada por este método es más
representativa, por lo que decidimos utilizar dichos valores para el cálculo de la sección eficaz. En el
caso de Al, no fue posible aplicar este método debido a que presenta pocos mínimos y máximos
visibles (ver figura 7.2). Para este caso, utilizamos un valor medio entre las determinaciones obtenidas
a partir de los ajustes, asociando una incerteza del 10% a este valor. Los errores relativos asociados a
los espesores van desde el 4% hasta el 17%, lo cual implica que es una de las fuentes de error más
influyentes en la determinación de las secciones eficaces.
En cuanto a los valores obtenidos para las densidades, puede verse que en todos los casos la
densidad ρ(θ C ) determinada a partir del ángulo crítico mediante la fórmula (II.1) es menor que el valor
nominal. Esto puede deberse a la manera en la que los átomos se acomodan para estas capas de
espesor nanométrico y además puede estar relacionado con la técnica de deposición utilizada. Los
errores asociados fueron obtenidos por propagación en la ecuación (II.8), tomando el valor del paso
angular en θ (0,002°) como incerteza para el ángulo crítico. Los errores relativos resultantes son
menores al 2% en todos los casos. Una gran discrepancia se observa entre los espesores nominales
(producto de la tasa por el tiempo de deposición) y los determinados por XRR; esto podría estar
relacionado a la determinación de la tasa de deposición, la cual se realiza asumiendo determinadas
densidades.
Figura 7.3: : Ejemplo de ajuste con la aplicación MotoFit del programa IGOR Pro del espectro XRR
correspondiente a la película de Ti depositado sobre sustrato de Si. Los puntos corresponden al espectro
experimental y la línea al ajuste. El gráfico más grande corresponde al logaritmo de la reflectividad R en
función del módulo de la transferencia de momento Q, mientras que el gráfico interior corresponde a la
densidad de longitud de scattering (Scattering Length Density –SLD), en función n de la profuncidad z medida
desde la superficie de la película.
Determinación de ∆Ω
El cálculo del ángulo sólido subtendido por el detector es una de las determinaciones que más
problemas trae aparejada. De acuerdo a los datos provistos por el fabricante, para el detector de 10
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