Estudio de parámetros atómicos y moleculares en ... - FaMAF

___________________________________________________ Capítulo 3: Equipamiento y Métodos Utilizados
Película delgada sobre muestra extensa
Las expresiones mencionadas en el ítem anterior fueron extendidas para predecir el espectro
resultante de una película delgada de cualquier composición sobre un sustrato de composición
independiente a la de la capa. Una descripción más detallada se dará en el capítulo 4.
Parámetros refinables
A modo de resumen, los parámetros que pueden ser optimizados durante el refinamiento de un
espectro de emisión de rayos x son los siguientes:
• Tres constantes globales de picos K, L, y M, relacionados con el parámetro β en la ecuación
(3.2).
• La constante global de fondo, relacionada con el parámetro α en la ecuación (3.3).
• Los parámetros de caracterización del ancho instrumental: n y F en la ecuación (3.12) para
espectrómetros EDS y ∆θ en la expresión (3.13) para sistemas WDS.
• Parámetros relacionados con el detector EDS: espesor de la ventana, espesor de la capa muerta y
espesor del contacto óhmico.
• Parámetros de calibración: G y Z o en la ecuación (3.5) que relaciona la longitud de onda con el
canal correspondiente de un WDS y análogamente para las energías en sistemas EDS.
• Parámetros relacionados con las líneas características: energías, probabilidades de transición,
dos parámetros de asimetría para sistemas EDS (ver capítulo 4), y posición, ancho e intensidad
de un pico gaussiano correspondiente a una banda satélite asociada a la transición. Estos dos
últimos parámetros han sido de gran utilidad para la caracterización de bandas satélites en líneas
M (37; 106) y bandas RAE en líneas K (35).
• Constante de pico suma.
• Constante de pico de fluorescencia interna del Si.
• Espesor del recubrimiento conductor de carbono.
• Espesor de una capa de óxido de crecimiento espontáneo en muestras metálicas.
• Concentraciones de los elementos detectados de la muestra extensa.
• Concentraciones de los elementos de una capa fina depositada sobre la muestra extensa.
• Espesor de una capa delgada depositada sobre la muestra extensa.
Es importante mencionar que el programa permite declarar tanto el número atómico como la
concentración de los elementos no detectados en el espectro de emisión de la muestra extensa, lo cual
es importante a fines de tener en cuenta los efectos que producen estos elementos en la absorción de
los fotones característicos emitidos por la muestra. Este hecho es muy importante si el espectro se
mide con un detector EDS con ventana gruesa de Be, ya que la eficiencia del mismo no permite
detectar elementos con Z