Deutsches Treibhausgasinventar 1990 - 2002 - Umweltbundesamt

Nationaler Inventarbericht Deutschland – 2004
4.12.5.3 Unsicherheiten und Zeitreihenkonsistenz (2.F.5)
Die Daten werden als gut bewertet.
Umweltbundesamt
Die Zeitreihe beginnt wegen der erstmaligen Verwendung von HFKW im Jahr 2001 erst in
diesem Jahr. Dies steht in Einklang mit der Änderung der gesetzlichen Regelung zu
halogenierten Lösemitteln (novellierte 2. BImSchV).
4.12.5.4 Quellenspezifische Qualitätssicherung/-kontrolle und Verifizierung
(2.F.5)
Eine Überprüfung der gelieferten Daten erfolgt bisher wegen der sehr geringen Relevanz
nicht. Es wird auf die geplanten Verbesserungen hingewiesen.
Eine standardisierte Methodik zur QS/QK wird derzeit vom UBA in Zusammenarbeit mit
einem Forschungsnehmer entwickelt.
4.12.5.5 Quellenspezifische Rekalkulation (2.F.5)
Es wurden keine Rekalkulationen vorgenommen. Für das Berichtsjahr 2001 wird ggf. eine
Rekalkulation im kommenden Berichtsjahr durchgeführt.
4.12.5.6 Geplante Verbesserungen (quellenspezifisch) (2.F.5)
Es ist beabsichtigt, die bei den zuständigen Länderbehörden eingegangenen und bewilligten
Ausnahmeanträge für den Einsatz von HFKW abzufragen, falls sich ein relevanter Einsatz
abzeichnet.
4.12.6 Sonstige (2.F.6)
4.12.6.1 Halbleiterproduktion (2.F.6)
4.12.6.1.1 Beschreibung der Quellgruppe (2.F.6)
Die Subquellgruppe Halbleiterproduktion ist für halogenierte Kohlenwasserstoffe nach
Emissionshöhe und Trend und für SF 6 nach der Emissionshöhe als Hauptquellgruppe
identifiziert worden.
In der Halbleiterindustrie werden vorwiegend FKW als Ätzgase zum Strukturätzen und zur
Kammerreinigung benötigt und in großem Umfang eingesetzt. Daneben werden aber auch
HFKW, SF 6 und NF 3 in den Produktionsprozess eingebracht. Die Emissionen können nicht
allein anhand der eingesetzten Mengen (Verkäufe des Gasehandels) ermittelt werden. Die
Differenz zwischen Verbrauch und Emission resultiert erstens aus der nur partiellen
chemischen Umsetzung im Plasmareaktor und zweitens aus der Wirkung nachgeschalteter
Abgasreinigungsanlagen. Außerdem muss ein Rückstand von ca. 10 % pro Gasflasche als
Nicht-Verbrauch beachtet werden. Die effektiven Emissionen sind vor allem von den
eingesetzten Abgasreinigungstechnologien abhängig.
4.12.6.1.2 Methodenbeschreibung (2.F.6)
Ab dem Jahr 2001 liegen aufgrund einer freiwilligen Zusage der Halbleiterindustrie gute
Emissionsangaben für diese Quellgruppe für alle Einzelstoffe vor. Die Emissionsdaten
werden nach dem Tier 2 Ansatz für jede Produktionsstätte berechnet, aggregiert und vom
Verband (ZVEI, Bauelemente) an das Umweltbundesamt gemeldet. Die Basisdaten für die
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