ASAXS - Helmholtz-Zentrum Berlin

4 Zusätzliche Charakterisierungsmethoden
4.2.2 Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX)
Die energiedispersive Röntgenspektroskopie (energy dispersive X-ray spectroscopy; EDX) ermöglicht
die Bestimmung der lokalen Elementzusammensetzung einer Probe im TEM. Durch
Wechselwirkung der Primärelektronen mit den Atomen können diese ionisiert werden. Die
auftretenden unbesetzten elektronischen Zustände können und werden durch Elektronen aus
energetisch höheren Schalen aufgefüllt. Die Energiedifferenz wird dabei als Röntgenquant
abgegeben und kann mit einem geeigneten Detektor nachgewiesen werden. Die Energie des
Röntgenquants ist dabei vom jeweiligen ionisierten Atom abhängig, wodurch eine ortsaufgelöste
Elementzusammensetzung der Probe bestimmt werden kann.
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