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Das Forschungszentrum Jülich - d-nb, Archivserver DEPOSIT.D-NB ...

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Management-Tool zu diskutieren. Der Prozess der Bestimmung der Schlüssel-<br />

Leistungsindikatoren, der Forschergruppen, die den Standard festlegen, und der Definition<br />

des Standards ist im Gange.<br />

A - Ziele und Ei<strong>nb</strong>ettung in den Forschungsbereich<br />

Durch die fortschreitende Verkleinerung elektronischer Schaltungen und Baugruppen bei<br />

gleichzeitiger Erhöhung der Funktionalität werden die Veränderungen für die CMOS-Technologie im<br />

Bereich der Mikro- und Nanoelektronik beträchtlich sein. Neuartige Ansätze und intensive Forschung<br />

werden nötig sein, um der Verkleinerung der Strukturen bei den Integrierten Schaltungen (IC) zu<br />

folgen und neue Schaltungen im Nanometer-Bereich zu entwickeln.<br />

<strong>Das</strong> Forschungsprogramm "Informationstechnologie mit nanoelektronischen Systemen" konzentriert<br />

sich auf die mittel- und langfristigen Fragestellungen in der Nanoelektronik. <strong>Das</strong> Ziel des Programms<br />

ist die unabhängige und interdisziplinäre Grundlagenforschung. In Zusammenarbeit mit der Industrie<br />

sollen neue Ansätze, neuartige Materialeigenschaften und neue Konzepte für nanoelektronische<br />

Schaltungen bereitgestellt werden.<br />

Die wichtigsten Arbeitsgebiete des Programms sind:<br />

• Studien zur Verkleinerung von Schaltungskonzepten, z. B. die Erhaltung essentieller<br />

physikalischer Funktionen bei der Reduktion auf die kleinstmögliche Struktur. In Zentrum des<br />

Interesses stehen neue Materialien und Prozesse, die es erlauben die Verkleinerung bis an<br />

ihre ultimativen Grenzen zu treiben.<br />

• Die Erforschung von neuen Materialklassen zur Integration in CMOS-Schaltungen, um deren<br />

Spektrum der technologischen Funktionen, mit denen sie Information verarbeiten, zu<br />

verbreitern und neue Anwendungsgebiete zu eröffnen.<br />

• Die Suche nach neuen erfolgreichen Konzepten abseits der bereits verfügbaren<br />

konventionellen CMOS - Technologie für Mainstream-Anwendungen oder Nischenmärkte.<br />

Die dazugehörige Forschung zielt auf folgende Gebiete:<br />

• neue elektronische Materialien,<br />

• Prozesstechnologie für Strukturen unterhalb 100 nm, insbesondere die "bottom-up"- and<br />

"bottom-down"-Ansätze,<br />

• Neue elektronische Funktionen als Basis für neue Schaltungskonzepte<br />

Zur Umsetzung dieser Forschungsziele wurde das CNI - Zentrum für Nanoelektronische Systeme in<br />

der Informationstechnologie im <strong>Forschungszentrum</strong> <strong>Jülich</strong> etabliert. <strong>Das</strong> CNI ist eine Vereinigung von<br />

acht Instituten:<br />

• IFF - Theory 1 (Prof. Stefan Blügel),<br />

• IFF - Theory 2 (Prof. Heiner Müller-Krumbhaar),<br />

• IFF-IEE - Elektronischen Eigenschaften (Prof. Claus. M. Schneider),<br />

• IFF-IEM - Elektronische Materialien (Prof. Rainer Waser),<br />

• IFF-IMF - Mikrostrukturforschung (Prof. Knut Urban),<br />

• ISG-1 - Halbleiterschichten und -bauelemente (Prof. Hans Lüth),<br />

• ISG-2 - Bio- and Chemosensoren (Prof. Andreas Offenhäusser),<br />

• ISG-3 - Schichten und Grenzflächen (Prof. Harald Ibach).<br />

Um den Erfolg in dieser besonders interdisziplinär ausgerichteten Forschung zu gewährleisten,<br />

wurden die Bereiche Festkörperphysik und Oberflächenphysik, organische und anorganische Chemie,<br />

zelluläre und molekulare Biologie als auch die Elektrotechnik und die Informationstechnik eng<br />

miteinander verzahnt. Dies ist ein Grund, warum das Programm zu den wichtigsten Programmen<br />

innerhalb der Helmholtz-Gemeinschaft zählt.<br />

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