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Wissenschaftsrat Empfehlungen und Stellungnahmen 2004 Band II

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4. Arbeitsgruppe Mikrorobotik<br />

Hauptarbeitsrichtung:<br />

- Komponentenentwicklung zur Mikroproduktionstechnik<br />

Forschungsschwerpunkte:<br />

- Mikrostrukturierte Dünnschicht-Aktorsysteme<br />

- Mikrogreifer<br />

- Taktile Displays<br />

- Formgedächtnislegierungen<br />

5. Arbeitsgruppe 3-D-Micro-/Nanostructures (im Triplet HF-<br />

Sensoren <strong>und</strong> Bauteile)<br />

Hauptarbeitsrichtung:<br />

- Entwicklung neuer kostengünstiger Fertigungsverfahren für<br />

Sensorsysteme <strong>und</strong> mikrofluidische Komponenten<br />

Forschungsschwerpunkte:<br />

- Entwicklung von Biosensoren<br />

- Entwicklung von mikrofluidischen Komponenten<br />

- Entwicklung von magnetischen Sensorelementen<br />

6. Arbeitsgruppe Sensor Systems (im Triplet HF-Sensoren <strong>und</strong> Bauteile)<br />

Hauptarbeitsrichtung:<br />

- Umsetzen von Forschungsergebnissen des Triplets in Demonstratoren<br />

<strong>und</strong> Produkte<br />

- Weiterentwicklung der Sensorprinzipien<br />

Forschungsschwerpunkte:<br />

- Mech.- <strong>und</strong> Biosensorik<br />

- Impedanzsensoren<br />

- Oberflächenwellensensoren<br />

7. Arbeitsgruppe Kombinatorische Materialforschung<br />

Hauptarbeitsrichtung:<br />

- Entwicklung neuer Dünnschichtwerkstoffe mit den Methoden<br />

der kombinatorischen Materialforschung<br />

- Entwicklung kombinatorischer Abscheide- <strong>und</strong> Prozessierungsmethoden,<br />

sowie neuer Hochdurchsatz-Charakterisierungsverfahren<br />

Forschungsschwerpunkte:<br />

- Herstellung <strong>und</strong> Screening von Dünnschicht-Materialbibliotheken<br />

- Entwicklung von Hochdurchsatz-Charakterisierungsverfahren<br />

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