Bulletin 2011/31 - European Patent Office

(H01J) I.1(1)
(30) 31.10.2008 US 110394 P
(54) • MESSUNG UND ENDPUNKTBESTIMMUNG
VON PROBENDICKEN
• MEASUREMENT AND ENDPOINTING OF
SAMPLE THICKNESS
• MESURE ET DÉTECTION DU POINT LIMITE
DE L'ÉPAISSEUR D'UN ÉCHANTILLON
(71) FEI Company, 5350 NE Dawson Creek Drive,
Hillsboro, OR 97124, US
(72) YOUNG, Richard J., Beaverton Oregon
97006, US
PETERSON, Brennan, Portland Oregon
97214, US
MORIARTY, Michael, Hillsboro Oregon
97124, US
SCHAMPERS, Rudolf Johannes Peter Gerardus,
NL-5951 JE Belfeld, NL
(74) Bakker, Hendrik, FEI Company Patent
Department P.O. Box 1745, 5602 BS Eindhoven,
NL
(60) 11165381.2
(51) H01J 37/20 (11) 2 351 063 A1*
G01N 23/20
(25) En (26) En
(21) 09756702.8 (22) 06.11.2009
(84) AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB
GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT
NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR
(86) EP 2009/064726 06.11.2009
(87) WO 2010/052289 2010/19 14.05.2010
(30) 06.11.2008 EP 08168475
06.11.2008 US 112036 P
(54) • VERFAHREN UND ANORDNUNGEN ZUR
KRISTALLSTRUKTURANALYSE MIT
HOHEM DURCHSATZ DURCH ELEKTRO-
NENBEUGUNG
• METHODS AND DEVICES FOR HIGH
THROUGHPUT CRYSTAL STRUCTURE
ANALYSIS BY ELECTRON DIFFRACTION
• PROCÉDÉS ET DISPOSITIFS D ANALYSE À
HAUT DÉBIT D UNE STRUCTURE CRIS-
TALLINE PAR DIFFRACTION ÉLECTRO-
NIQUE
(71) Nanomegas SPRL, Boulevard Edmond
Machtens 79 Boîte 22, 1080 Molenbeek-
Saint-Jean, BE
Institut Polytechnique de Grenoble, 46
avenue Félix Viallet, 38031 Grenoble Cedex
1, FR
Centre National de la Recherche Scientifique,
3, rue Michel-Ange, 75794 Paris Cedex 16,
FR
(72) NICOLOPOULOS, Stavros, E-46009 Valencia,
ES
BULTREYS, Daniel, B-1190 Bruxelles, BE
RAUCH, Edgard, F-38800 Champagnier, FR
(74) Gyi, Jeffrey Ivan, et al, De Clercq & Partners
cvba Edgard Gevaertdreef 10 a, 9830 Sint-
Martens-Latem, BE
H01J 37/22 → (51) G01N 23/22
H01J 37/26 → (51) H01J 37/00
(51) H01J 37/32 (11) 2 351 064 A1*
(25) De (26) De
(21) 09765014.7 (22) 04.11.2009
(84) AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB
GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT
NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR
(86) EP 2009/007905 04.11.2009
(87) WO 2010/051982 2010/19 14.05.2010
(30) 04.11.2008 DE 102008055786
08.05.2009 DE 102009020436
(54) • VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR
PLASMABEHANDLUNG EINES FLACHEN
SUBSTRATS
• METHOD AND DEVICE FOR PLASMA
TREATMENT OF A FLAT SUBSTRATE
Europäisches Patentblatt
European Patent Bulletin
Bulletin européen des brevets
• PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT
AU PLASMA D'UN SUBSTRAT PLAT
(71) Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der
angewandten Forschung e.V., 80636
München, DE
Leybold Optics GmbH, Siemensstrasse 88,
63755 Alzenau, DE
Ruhr-Universität Bochum, Universitätsstrasse
150, 44780 Bochum, DE
(72) BECKMANN, Rudolf, 63546 Hammersbach,
DE
GEISLER, Michael, 63607 Wächtersbach, DE
ZEUNER, Arndt, 63755 Alzenau, DE
FIEDLER, Marks, 60528 Frankfurt am Main,
DE
GRABOSCH, Günter, 60433 Frankfurt am
Main, DE
PFLUG, Andreas, 38108 Braunschweig, DE
CZARNETZKI, Uwe, 45309 Essen, DE
BRINKMANN, Ralf-Peter, 40699 Erkrath, DE
SIEMERS, Michael, 38102 Braunschweig, DE
(74) Pohlmann, Bernd Michael, Reinhardt &
Pohlmann Patentanwälte Rossmarkt 12,
60311 Frankfurt am Main, DE
H01J 49/04 → (51) G01N 1/22
H01J 49/06 → (51) H03K 3/42
(51) H01J 61/44 (11) 2 351 065 A2*
C09K 11/81 C09K 11/77
(25) De (26) De
(21) 09748089.1 (22) 29.10.2009
(84) AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB
GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT
NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR
(86) EP 2009/064253 29.10.2009
(87) WO 2010/049471 2010/18 06.05.2010
(88) 11.11.2010
(30) 31.10.2008 DE 102008054175
(54) • NIEDERDRUCKENTLADUNGSLAMPE
• LOW-PRESSURE DISCHARGE LAMP
• LAMPE À DÉCHARGE BASSE PRESSION
(71) Osram Gesellschaft mit Beschränkter Haftung,
Hellabrunner Str. 1, 81543 München,
DE
(72) HILSCHER, Achim, 86316 Friedberg, DE
KONRAD, Armin, 86845 Großaitingen, DE
(51) H01J 61/56 (11) 2 351 066 A2*
H05K 9/00
(25) De (26) De
(21) 09774853.7 (22) 16.11.2009
(84) AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB
GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT
NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR
(86) EP 2009/065238 16.11.2009
(87) WO 2010/060825 2010/22 03.06.2010
(88) 23.09.2010
(30) 28.11.2008 DE 102008059561
02.12.2008 US 119320 P
(54) • INTEGRIERTE GASENTLADUNGSLAMPE
• INTEGRATED GAS DISCHARGE LAMP
• LAMPE A DECHARGE GAZEUSE INTEGREE
(71) OSRAM Gesellschaft mit beschränkter Haftung,
Hellabrunner Straße 1, 81543
München, DE
(72) ASMUSSEN, Knut, 81541 München, DE
HIRSCHMANN, Günther, 81735 München,
DE
KOLBE, Lars, 85625 Glonn, DE
RÖHL, Manfred, 83052 Bruckmühl, DE
SIEßEGGER, Bernhard, 81479 München, DE
H01L 21/00 → (51) C23C 14/34
(51) H01L 21/02 (11) 2 351 067 A1*
(25) En (26) En
317
Anmeldungen
Applications
Demandes (31/2011) 03.08.2011
(21) 09826833.7 (22) 13.11.2009
(84) AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB
GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT
NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR
(86) US 2009/064381 13.11.2009
(87) WO 2010/056990 2010/20 20.05.2010
(30) 14.11.2008 US 114766 P
(54) • SYSTEME UND VERFAHREN ZUR KRIS-
TALLISATION VON DÜNNFILMEN
• SYSTEMS AND METHODS FOR THE
CRYSTALLIZATION OF THIN FILMS
• SYSTÈMES ET PROCÉDÉS POUR LA
CRISTALLISATION DE FILMS MINCES
(71) The Trustees of Columbia University in the
City of New York, 412 Low Memorial Library
535 West 116th Street, New York, New York
10027, US
(72) IM, James, S., New York NY 10025, US
(74) Lawrence, John, Barker Brettell LLP 100
Hagley Road Edgbaston, GB-Birmingham
B16 8QQ, GB
H01L 21/02 → (51) H01L 23/522
H01L 21/04 → (51) H01L 31/072
(51) H01L 21/20 (11) 2 351 068 A1*
(25) En (26) En
(21) 09828196.7 (22) 19.11.2009
(84) AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB
GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT
NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR
(86) US 2009/065078 19.11.2009
(87) WO 2010/059781 2010/21 27.05.2010
(30) 19.11.2008 US 116136 P
(54) • BEDRUCKUNG VON HALBLEITERELE-
MENTEN DURCH SCHERUNGSUNTERS-
TÜTZTE ÜBERTRAGUNG VON
ELASTOMEREN STEMPELN
• PRINTING SEMICONDUCTOR ELEMENTS
BY SHEAR-ASSISTED ELASTOMERIC
STAMP TRANSFER
• IMPRESSION D'ÉLÉMENTS SEMI-
CONDUCTEURS PAR TRANSFERT PAR
POINÇON ÉLASTOMÈRE ASSISTÉ PAR
CISAILLEMENT
(71) Semprius, Inc., 4915 Prospectuc Drive, Suite
C, Durham, NC 27713, US
(72) MENARD, Etienne, Durham NC 27713, US
(74) Hannke, Christian, Hannke Bittner & Partner
Patent- und Rechtsanwälte Ägidienplatz 7,
93047 Regensburg, DE
H01L 21/20 → (51) H01L 23/12
(51) H01L 21/205 (11) 2 351 069 A2*
(25) En (26) En
(21) 09820031.4 (22) 12.10.2009
(84) AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB
GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT
NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR
(86) US 2009/060372 12.10.2009
(87) WO 2010/042927 2010/15 15.04.2010
(88) 22.07.2010
(30) 10.10.2008 US 104288 P
(54) • CHEMISCHE GASPHASENABSCHEIDUNG
MIT KONTINUIERLICHER ZUFÜHRUNG
• CONTINUOUS FEED CHEMICAL VAPOR
DEPOSITION
• DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR
ALIMENTÉ EN CONTINU
(71) Alta Devices, Inc., 3260 Scott Blvd., Santa
Clara, CA 95054, US
(72) HE, Gang, Cupertino California 95014, US
(74) Maggs, Michael Norman, Kilburn & Strode
LLP 20 Red Lion Street, London WC1R 4PJ,
GB
H01L 21/205 → (51) H01L 21/3065