Allgemeiner Kurskatalog WiSe 2012/13 - Fakultät für Maschinenbau ...
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Stand: 24.10.<strong>2012</strong><br />

Halbleitertechnologie<br />

Technology for Integrated Devices<br />

Dozent: Osten E-Mail:<br />

osten@mbe.uni~<br />

Ziel des Kurses:<br />

Diese Vorlesung vermittelt Grundkenntnisse der Prozesstechnologie <strong>für</strong> die Herstellung von integrierten<br />

Halbleiterbauelementen der Mikroelektronik. Die Studierenden lernen Einzelprozessschritte zur<br />

Herstellung von Si-basierten mikroelektronischen Bauelementen und Schaltungen sowie analytische<br />

und messtechnische Verfahren zur Untersuchung von mikroelektronischen Materialien und<br />

Bauelementen kennen<br />

Inhalt:<br />

-Technologietrends<br />

-Wafer-Herstellung<br />

- Technologische Prozesse<br />

- Dotieren, Diffusion, Ofenprozesse<br />

- Implantation<br />

- Oxidation<br />

- Schichtabscheidung<br />

- Epitaxie<br />

- Planarisieren<br />

- Lithografie<br />

- Nasschemie<br />

- Plasmaprozesse<br />

- Metrologie<br />

Empfohlene Vorkenntnisse:<br />

---<br />

Voraussetzungen:<br />

---<br />

Literaturempfehlung:<br />

Vorlesungsskript (online); B. Hoppe: Mikroelektronik, Teil 2 (Herstellungsprozesse <strong>für</strong> integrierte<br />

Schaltungen), Vogel-Fachbuchverlag, 1998,ISDN 8023 1588; Stephen A. Campbell: The Science and<br />

Engineering of Microelectronic Fabrication, Oxford University<br />

Besonderheiten:<br />

---<br />

Präsenzstudienzeit: 45h<br />

Selbststudienzeit: 75h<br />

Empfohlen ab dem: 5. Semester<br />

Art der Prüfung: mündlich<br />

V2/Ü1<br />

ECTS-LP (alt LP): 4 WS<br />

Institut <strong>für</strong> Materialien und Bauelemente der Elektronik<br />

Seite <strong>13</strong>3

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