Allgemeiner Kurskatalog WiSe 2012/13 - Fakultät für Maschinenbau ...

Stand: 24.10.2012
Tutorium: Mikro-/Nanotechnik und Präsentationskompetenz
Tutorial: Micro/Nanotechnology and Presentational Competence
Dozent: Rissing E-Mail:
wurz@impt.uni~
Ziel des Kurses:
Vermittlung von Kenntnissen über die grundlegenden Prozesse für die dünnfilmtechnische Fertigung
von Mikrobauteilen (Beschichtungs- und Ätztechniken in Verbindung mit Fotolithografie).
Vermittlung der Schlüsselqualifikationen Kreativität und Präsentationstechnik
Inhalt:
- Grundlagen der Vakuumtechnik
- Beschichtungstechnik: physikalische und chemische Abscheidung von Filmen aus der Dampfphase,
galvanische Verfahren
- Ätztechnik: nasschemisches Ätzen, physikalisches, physikalisch-chemisches und chemisches
Trockenätzen
- fotolithografische Verfahren
- Fertigung im Reinraum
- Grundlegende Ideen und Möglichkeiten der Nanotechnologie
Empfohlene Vorkenntnisse:
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Voraussetzungen:
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Literaturempfehlung:
Vorlesungsskript Mikro- und Nanotechnologie;
Wautelet: "Nanotechnologie", Oldenburg; Menz: "Mikrosystemtechnik für Ingenieure", Weinheim.
Besonderheiten:
Reinraumführung
Präsenzstudienzeit: 10h
Selbststudienzeit: 20h
Empfohlen ab dem: 4. Semester
Art der Prüfung: ---
T1
ECTS-LP (alt LP): 1 WS
Institut für Mikroproduktionstechnik
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