Allgemeiner Kurskatalog WiSe 2012/13 - Fakultät für Maschinenbau ...

Stand: 24.10.2012
Modellierung von elektromechanischen Mikrosystemen
Modelling of electromechanical Microssystems
Dozent: Mathis, Steinbrink E-Mail:
info@tet.uni~
Ziel des Kurses:
Die Grundzüge elektromech.Mikrosysteme, die mit Hilfe der Mikroelektronik (MEMS) bzw. der Nanoelektronik
(NEMS) realisiert werden, werden dargestellt. Zunächst wird auf konventionelle
Mikroaktuatoren eingegangen, wobei Funktionsprinzipien, Besonderheiten gegenüber
"Makroausführungen" und feldtheoretischen Berechnungsmethoden sowie die Ansteuerung
angesprochen werden. MEMS & NEMS und entspr. Anwendungen, Methoden der Atomkraftmikroskopie
und elektromech. Aspekte der Modellierung und Simulation werden diskutiert. Bei Simulationsverfahren
(FEM) wird vor allem der Einfluss von Temperatur- und magn. Feldern berücksichtigt.
Inhalt:
- Werkstoffmodellierung: Anisotropie, strukturiertes und geschichtetes Material
- Simulationsmethoden, insbesondere von thermomechanischen und elektromagnetischen Vorgängen
- Energie- und Signalwandler: mechanisch-elektrisch, thermisch-elektrisch, magnetisch-elektrisch und
optisch-elektrisch
- Systemtheoretische Darstellung, Netzwerkmodelle, Dynamik von Mikrobauteilen
- Beispiele und Anwendungen
Empfohlene Vorkenntnisse:
Mikrosystemtechnik; FEM I; Regelungstechnik
Voraussetzungen:
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Literaturempfehlung:
Arbeitsblätter zur Vorlesung. Skript zu FEM I; Gerlach, Dötzel: Grundlagen der Mikrosystemtechnik.
Hanser Verlag 1997; Arnulf Kost: Num. Methoden in der Berechnung elektromagn. Felder. Springer 1994
Besonderheiten:
Rechnerübungen
Präsenzstudienzeit: 32h
Selbststudienzeit: 88h
Empfohlen ab dem: 2. Semester
Seite 224
Art der Prüfung: mündlich
V2/Ü1
ECTS-LP (alt LP): 4 SS
Institut für Theoretische Elektrotechnik