Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005

M30: Rastertransmissionselektronenmikroskopie (STEM)Verfahren die Möglichkeit, Kontraständerungen fokusunabhängigdirekt als Funktion des streuendenElementes bei gleichzeitig hoher Ortsauflösung aufzuzeichnen(Z-Kontrastabbildungen, Abb. 3b, 4).Ein weiterer wesentlicher Vorteil von HAADF-STEM liegt in der Kompatibilität mit den beidenanalytischen Verfahren EELS (Elektronenenergieverlustspektroskopie)und EDXS (EnergiedispersiveRöntgenspektroskopie). Da der ungebeugte bzw.nur in sehr kleine Winkel gebeugte Elektronenstrahlnicht für die Bildgebung verwendet wird und somitdirekt in das unter dem Detektor liegende Energieverlustspektrometergelenkt werden kann, ergibtsich die Möglichkeit zur simultanen Aufnahme vonEELS-Spektren. Nach der Bildgenerierung kannder Strahl auf einem beliebigen Strukturdetail imBildausschnitt positioniert werden, und anschließendkönnen komplette Energieverlust- aber auchRöntgen-Spektren von bestimmten Punkten, entlangvon Linien oder innerhalb rechteckiger Bereicheaufgezeichnet werden (Spectrum Imaging,Abb. 5).Gerald Kothleitner, Werner Rechberger, Werner GroggerTechnische Universität GrazForschungsinstitut für Elektronenmikroskopie undFeinstrukturforschungund Zentrum für Elektronenmikroskopie GrazAbbildung 5:Methoden:Analytische Techniken EDXS und EELSin Kombination mit HAADF-STEM.M2 | M8 | M10 | M17Lösungen: —Institute:Kontakte:EDXS | EELS | Elektronenenergieverlustspektroskopie | Energiedispersive RöntgenspektroskopieHochauflösung | Rastertransmissionselektronenmikroskopie | Spectrum Imaging | STEMI4K21Index Kontakte Institute Lösungen MethodenHandbuch der Nanoanalytik Steiermark 200581