Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005

M37: Röntgenreflektivität (XRR)der Schichtdicke, weiters noch Informationen über Weiterführende Literaturden Elektronendichteverlauf in der Probe und dieRauigkeit der einzelnen Grenzschichten.[1] H. Kiessig (1931) „Interferenz von Röntgenstrahlenan dünnen Schichten“. Annalen derDie Methodik der Röntgenreflektivität kann auf Physik 10, 769-87.jegliche Schichtsysteme angewendet werden. [2] E. Chason (2000) „X-ray Reflectivity forSchichtdicken im Bereich von einigen wenigen Studies of Surface and Interface Structure“,nm bis zu einigen hundert nm können mit hoher in: „In-Situ Real-Time Characterisation of ThinGenauigkeit bestimmt werden. Limitierend für die Films“. O. Auciello, A. R. Krauss (Eds.), JohnMessung sind die Winkelauflösung des verwendetenRöntgendiffraktometer (Fringes zu nahe zusam-[3] U. Pietsch, V. Holy, T. Baumbach (2004)Wiley & Sons. 264 Seiten.men) und die Empfindlichkeit des Detektors (Intensitätsänderungum bis zu 8 Größenordnungen).Thin Films to Lateral Nanostructures“. Sprin-„High-Resolution X-Ray Scattering – Fromger Verlag. 408 Seiten.Oliver Werzer, Roland ReselTechnische Universität GrazInstitut für FestkörperphysikMethoden: —Lösungen: —Institute:I8Kontakte:K38Röntgenreflektivität | Schichtdicke | Schichtrauigkeiten | XRRIndex Kontakte Institute Lösungen MethodenHandbuch der Nanoanalytik Steiermark 200599