Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005

L30: Probenpräparation mittels Zweistrahl-FIB / REMAbbildung 3:FIB-präparierte TEM-Probe (SE-Bild).FIB-präparierte TEM-Lamelle einerKeramikprobe nach dem letzten Dünnungsschritt.Mit ausreichend kleinemIonenstrahldurchmesser können imIdealfall Probenbereiche von etwa 10µm x 10 µm nahezu planparallel aufunter 100 nm Dicke präpariert werden.Spannungen im Probenmaterial könnenjedoch zu einem Verbiegen der Lamelleführen, was eine gleichmäßige FIB-Ionendünnunggroßer Flächen erschwert.Anschließend werden bei hohem Ionenstrahlstromzwei Gräben geschnitten (Abb. 1), welchedas Probenstück grob freilegen. Mit einem etwasfeineren Strahl wird die Probe dann in eine Quader-Form gebracht (die Dicke der Probe beträgt nunetwa 1–2 μm) und bis auf zwei kleine Verbindungenvom Substrat gelöst. Nun wird eine äußerst feineMikromanipulatorspitze aus Wolfram an die Probeherangeführt und mit dieser in Kontakt gebracht.Mittels ionenstrahlinduzierter Pt-Abscheidungwird diese Spitze mit der Probe verbunden unddanach vom Substrat getrennt, indem die zweiverbleibenden Verbindungen mit dem Ionenstrahldurchgeschnitten werden. Die nun an der Mikromanipulatorspitzefrei hängende Probe wird aus demSubstrat herausgehoben und im nächsten Schrittan einen TEM-Probenträger transferiert (Abb. 2),wo sie mittels ionenstrahlinduzierter Pt-Abscheidungangeschweißt wird. Danach trennt man mitdem Ionenstrahl die Manipulatorspitze wieder vonder Probe.192Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005