Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005

L5: Bestimmung der Ge-Konzentration von SiGe-LegierungenIn Abb. 3 ist der Vergleich zwischen ellipsometrischerhaltenen Konzentrationswerten und der„Eichgeraden“, die aus röntgendiffraktometrischenMessungen (die Kantenlänge der Elementarzellensenkrecht zur Schichtebene ist eine Funktion derGe-Konzentration) erhalten wird, gezeigt. Es konnteeine sehr gute Übereinstimmung erzielt werden.Für die freundliche Genehmigung zur Veröffentlichungder gezeigten Ergebnisse danken wir derFa. austriamicrosystems.Georg JakopicJOANNEUM RESEARCH Forschungsgesellschaft mbHInstitut für Nanostrukturierte Materialien und PhotonikAbbildung 3:Vergleich der Methoden Röntgendiffraktometrieund Spektralellipsometriezur Bestimmung des Ge-Gehaltes vonSiGe-Legierungen (s. blaue Kurve;schwarze Linie = „Idealkurve“).Methoden:M9Lösungen: —Institute:Kontakte:I10K16Bandabstand | dielektrische Funktion | Ellipsometrie | RöntgendiffraktometrieSilizium-Germanium-Legierung136Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005