Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005

LösungenL30: Probenpräparation mittelsZweistrahl-FIB / REMAbbildung 1:L30: Probenpräparation mittels Zweistrahl-FIB / REMDie „Focused Ion Beam“-Technik (FIB) hat sichin den letzten Jahren u.a. zu einer äußerst leistungsfähigenMethode zur zielgenauen Präparationdünner Lamellen für die analytische Transmissionselektronenmikroskopieentwickelt. Mit sogenanntenZweistrahlsystemen (dual beam FIB), die Beobachtungsmöglichkeitenin Form von Ionen- undElektronenstrahlen vorsehen, kann der gesamtePräparationsprozess vom Schneiden bis zum Herausheben(lift-out) bzw. Manipulieren der Probein situ, also noch in der FIB-Anlage selbst, durchgeführtwerden. Nachfolgend soll diese „in-situlift-out“-Präparationstechnik anhand der einzelnenPräparationsschritte illustriert werden.FIB-Probenpräparation (SE-Bild). Bildeiner durch einen 2 μm dicken Pt-Streifengeschützten TEM-Lamelle.Zu Beginn wird die genaue Stelle der Probenentnahmelokalisiert. Auf ihr wird zunächst mittelsionenstrahlinduzierter Abscheidung ein ca. 2 μmdicker Pt-Streifen innerhalb einer Abscheideflächevon typ. 20 μm x 1 μm aufgebracht. Dieser hat einerseitsdie Funktion die Oberfläche zu schützen,aber auch kleinere Unebenheiten auszugleichen(Abb. 1). Die Beschleunigungsspannung des Ionenstrahlsbeträgt – wenn nicht anders angegeben– 30 kV, beim Elektronenstrahl ist diese freiwählbar und beträgt gewöhnlich 5 kV.Abbildung 2:TEM-Probenträger (SE-Bild). TEM-Probenträgerfür FIB-präparierte Proben.Diese speziell für die In-situ-Heraushebetechnikgeeigneten Probenträgerermöglichen das Anbringen mehrererTEM-Lamellen. Das unterschiedlicheAussehen der einzelnen Befestigungsstellengewährleistet das schnelleAuffinden bzw. Zuordnen der Probenim Transmissionselektronenmikroskop.Index Kontakte Institute Lösungen MethodenHandbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005191