Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005

L30: Probenpräparation mittels Zweistrahl-FIB / REMDa die Probe für eine transmissionselektronenmikroskopischeUntersuchung zu diesem Zeitpunkt versell für viele Materialklassen einsetzbar. TEM-La-Die TEM-Probenpräparation mittels FIB ist uni-noch zu dick ist, wird sie nun mit dem Ionenstrahl mellen können aus nahezu allen Arten anorganischerschrittweise weiter gedünnt. Der Winkel zwischen Materialien und Werkstoffe (z.B. Halbleiter, Stähle,Ionenstrahl und Probenoberfläche beträgt dabei Hartmetalle, Keramiken, Verbundwerkstoffe, …)nicht mehr als 1– 3°, da ein größerer Winkel zu präpariert werden. Bei organischen Verbindungenungleichmäßigem Abtrag und starker Probenschädigungführen würde. Um bei der noch relativ Voraussetzung ist die Vakuumverträglichkeit desist die Eignung stark materialabhängig. Wichtigstedicken Lamelle eine hohe Abtragrate zu erzielen, Probenmaterials sowie eine möglichst geringe Anfälligkeitauf Strahlenschädigung.beginnt man typischerweise mit Ionenstrahlströmenvon ca. 1 nA und einem Strahldurchmesser von50 nm. Sobald die Probe weniger als 500 nm dickist, wechselt man, abhängig vom Probenmaterial, Weiterführende Literaturzu kleineren Strahlströmen (300 pA – 50 pA), umden Einfluss von Probenschädigung zu minimieren. [1] J. Orloff, M. Utlaut, L. Swanson (2003)Sind Stärken von ca. 50 –100 nm und damit TEMtauglicheLamellendicken erreicht (Abb. 3), wird ein Its Applications“. Kluwer Academic /Plenum„High Resolution Focused Ion Beams: FIB andletzter Ionendünnungsschritt bei 5 keV Ionenenergiedurchgeführt, um oberflächliche Probenamor-Publishers, New York. 303 Seiten.phisierung und Ga + -Implantation zu reduzieren.Michael Rogers, Gerald KothleitnerDies wird unter einem Winkel von ~7° zwischenTechnische Universität GrazIonenstrahl und Probenoberfläche durchgeführt.Forschungsinstitut für Elektronenmikroskopie undAnschließend kann der Probenträger mit der TEM-FeinstrukturforschungLamelle direkt ins TEM eingeschleust werden.und Zentrum für Elektronenmikroskopie GrazMethoden:M13 | M27Lösungen: —Institute:I4Kontakte:K21AEM | Analytische Transmissionselektronenmikroskopie | FIB | Focused Ion BeamProbenpräparation | Rasterelektronenmikroskopie | REM | TEM | TEM-ProbenpräparationTransmissionselektronenmikroskopie | ZielpräparationIndex Kontakte Institute Lösungen MethodenHandbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005193