Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005

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M41: Thermische Desorptionsspektroskopie (TDS)XPS), wichtige Informationen über die Energetik derersten Moleküllagen liefern. Dies ist von besondererBedeutung, da die elektrischen und optischenEigenschaften organischer Bauelemente entscheidendvon den entsprechenden Grenzflächenabhängen (Bindungsenergie, Elektronentransfer,Kontaktpotenzial).Adolf WinklerTechnische Universität GrazInstitut für FestkörperphysikMethoden:Lösungen:Institute:Kontakte:M7 | M32L38 | L42I8K50Adsorption | Desorption | Massenspektrometer | TDS | Thermische DesorptionsspektroskopieUltrahochvakuum106Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005
Methodenstress [MPa]M42: Thermo-mechanischeCharakterisierung dünnerSchichtenMechanische Größeneffekte indünnen SchichtenAbbildung 1:M42: Thermo-mechanische CharakterisierungDünne Schichten mit Schichtdicken im Bereichweniger Nanometer bis hin zu einigen Mikrometernzeigen gegenüber dem entsprechenden Massivmaterialveränderte und zumeist größenabhängigemechanische Eigenschaften („size effects“). So wirdmit abnehmenden geometrischen bzw. mikrostrukturellenDimensionen meist ein starker Anstieg derFließspannung beobachtet (Abb. 1). Dies kann beieinem Einsatz der Schichten z.B. als LeiterbahnSpannungs-Temperaturverlauf vonNi-reichen NiAl-Schichten auf einemSi-Substrat. Mit abnehmender Schichtdickenehmen die Spannungswerte beiRaumtemperatur zu. (nach [1])in der Mikroelektronik oder als Schutzschicht gegenüberthermischer oder abrasiver Belastung zurErmüdung bzw. Rissbildung führen und somit zueinem Versagen des Schicht /Substrat-Verbundesaufgrund hoher innerer Spannungen (Abb. 2). Ursachefür die inneren Spannungen sind zumeist dieunterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizientender einzelnen Werkstoffe.Abbildung 2:Rissbildung in einer dünnen, thermischbelasteten Al-reichen NiAl-Schicht.(nach [2])Index Kontakte Institute Lösungen MethodenHandbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005107
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Zum Geleit4. Ausbildung von Nachwuc
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NANONET-StyriaNANONET-Styria -Die s
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Einführung in die NanoanalytikEine
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Einführung in die NanoanalytikOrts
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XIIHandbuch der Nanoanalytik Steier
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InhaltsverzeichnisM26: Präparation
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Methoden undInstrumentierungHandbuc
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M9: Ellipsometrieführen können, s
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MethodenM11: Energiefilterungs-Tran
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M11: Energiefilterungs-Transmission
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M12: EPR-Spektroskopie (ESR-Spektro
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MethodenM13: Focused Ion Beam (FIB)
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M13: Focused Ion Beam (FIB)Typische
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M14: HECUS System-3CharakteristikaH
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M15: Hoch-/Tieftemperatur-Pulverdif
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MethodenM16: Hochauflösende SQUID-
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MethodenM17: Hochauflösungs-TEM un
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M17: Hochauflösungs-TEM und Elektr
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M18: Hochverformung - Nanokristalli
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MethodenM19: Leitfähigkeits-Raster
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M19: Leitfähigkeits-Rasterkraftmik
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L21: HT-XRD - Spannungen und Deform
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LösungenL23: Magnetische Eigenscha
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LösungenL27: Nanoindentierungsvers
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LösungenL28: Ortsaufgelöste Rönt
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LösungenL29: Präparationstechnike
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L29: Präparationstechniken in der
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LösungenL32: Rastertunnelmikroskop
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L34: Sekundärionen-Massenspektrosk
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L35: Synchrotronstrahlung in der in
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L35: Synchrotronstrahlung in der in
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LösungenL37: Tiefenprofilanalyse e
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LösungenL38: Ultradünne organisch
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L39: Untersuchung eines Defektes in
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LösungenL40: Untersuchung moderner
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Institute,Institutionen undFirmenHa
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I1: Anton Paar GmbHFirmenstrukturGr
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I2: Die österreichische SAXS-Stati
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I3: Erich-Schmid-Institut für Mate
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InstitutionenI4: FELMI-ZFE, TU Graz
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I4: FELMI-ZFE, TU GrazPolymeren (in
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I5: HECUS XRS GmbHKontaktHECUS XRS
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I6: Institut für Chemie, KFU GrazD
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I7: Institut für Chemische Prozess
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InstitutionenI8: Institut für Fest
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I8: Institut für Festkörperphysik
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I9: Institut für Materialphysik, T
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I10: Institut für Nanostrukturiert
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InstitutionenI11: Institut für Phy
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I11: Institut für Physik, Bereich
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I13: Institut für Physikalische un
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I14: Laserzentrum Leoben, JRDie Bes
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InstitutionenI15: Materials Center
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I15: Materials Center Leoben Forsch
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K1Amenitsch Heinz, Dr.Institut für
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KontakteK11Grampp Günther, O. Univ
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KontakteK20Köstler Stefan, Dipl.-I
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KontakteK31Motz Christian, Dr.Öste
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KontakteK43Schöberl Thomas, Dr.Ös
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