Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005

L11: Eigenspannungs-CharakterisierungenTypische AnwendungsgebieteEin Beispiel für SpannungscharakterisierungQuantitative Charakterisierung vonEigenspannungen und Eigenspannungsverteilungenan industriellen AnwendungenOrtsaufgelöste Messungen –EigenspannungskartenEigenspannungsuntersuchungen imTemperaturbereich 25 – 900°CStudien über Spannungsrelaxation, plastischeVerformungen, Adhäsionsproblematikensowie Zuordnungen intrinsischer undextrinsischer SpannungsbeiträgeSpannungscharakterisierung in Multischicht-Anwendungen mit Fokus auf Spannungs-Entwicklungen in speziell ausgewähltenZwischenschichtenEinfluss von Pufferschichten auf den Spannungszustandin Dünnschichtfilmen„Stress Engineering“ fürDünnschichtanwendungenTiefenabhängige Spannungsprofile(„depth profiling“)Ermittlung des Einflusses von Glühprozessenauf Spannungszustände sowie der Auswirkungvon Strahlungsschädigungen aufMaterialienStress [MPa]Abb. 3 zeigt die Ergebnisse einer In-situ-Eigenspannungscharakterisierungin Zwischenschichteneiner Multischichtstruktur bestehend aus denMaterialien Al /AlN /Al 2 O 3 (0001). Die Messungwurde mittels Röntgendiffraktion in einem Temperaturbereichvon 25 – 550°C durchgeführt. Dabeibetrugen die Dicken der Aluminium(Al)- undAluminiumnitrid(AlN)-Schichten zwischen 100 und500 nm.Abbildung 3:Ergebnis der Spannungsuntersuchungeiner Multischicht-Probe.Abbildung 2:Heizkammer DHS 900 (Fa. Anton Paar)zur Erweiterung des Zugänglichkeitsbereichesfür Spannungsuntersuchungenbei erhöhten Temperaturen.148Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005