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Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005

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M13: Focused Ion Beam (FIB)Typische Anwendungsbeispiele:Präparation und Untersuchung von QuerschnittenZielgenaue Präparation von TEM-ProbenSchaltkreismodifikation von HalbleiterbauelementenNanostrukturierung, MikrostrukturierungAnfor<strong>der</strong>ungen:Probe sollte elektrisch leitend und vakuumverträglichseinGröße des zu untersuchenden Bereichs vorzugsweise

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