Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005
Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005
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I4: FELMI-ZFE, TU GrazPolymeren (inkl. Kryomikroskopie) mit spektroskopischenMethoden, die Informationen über denchemischen Verbindungstyp und zur Verteilungchemischer Phasen mit μm-Auflösung liefern, mitneuen Methoden in <strong>der</strong> Licht- und Elektronenmikroskopiekombiniert werden. Im Forschungsbereich„<strong>Nanoanalytik</strong>“ liegt <strong>der</strong> Schwerpunkt auf dem Gebiet<strong>der</strong> Transmissionselektronenmikroskopie, mit<strong>der</strong> es möglich ist in das Innere von Festkörpern zublicken, die Struktur von Festkörpern mit atomarerAuflösung aufzuklären, Defekte zu identifizieren unddie chemische Zusammensetzung mit Nanometerauflösungzu messen. Hierzu werden methodischeEntwicklungen im Bereich <strong>der</strong> sub-Nanometer-Analytikmittels Elektronenenergieverlustspektrometrie(EELS) und Energiefilterungsmikroskopie (EFTEM)vorangetrieben. Mit <strong>der</strong> weltweit zweiten Installationeines analytischen Hochauflösungselektronenmikroskops,das mit einem Monochromator für dieElektronenquelle ausgerüstet ist, konnte das Institutseine international anerkannte Themenführerschaftweiter ausbauen.Das Hauptziel des neuen Schwerpunktes„Nanostrukturierung“ liegt in <strong>der</strong> Erforschung vonlokalen Nanostrukturen und funktionellen Bauelementen.Dazu werden neue Präparations- undUntersuchungsmethoden entwickelt bzw. auf aktuellematerialwissenschaftliche Problemstellungenangewendet. Mit einer „Focused Ion Beam“-Anlage(FIB) werden Mikro- und Nanostrukturen mit neuenEigenschaften präpariert und gleichzeitig in Bezugauf ihre Struktur und die lokalen physikalischen Eigenschaftencharakterisiert. Aktuelle Forschungsarbeitenkonzentrieren sich neben <strong>der</strong> Modifizierungvon Halbleiterbauelementen auf die Entwicklungneuer Methoden für die 3D-Elementanalyse vontechnologisch relevanten Materialien.Methoden: M2 | M6 | M8 | M10 | M11M13 | M17 | M21 | M26M27 | M30 | M39 | M44Lösungen:L4 | L10 | L20 | L22L29 | L30 | L36 | L39Institute: —Kontakte:Ferdinand HoferTechnische Universität GrazForschungsinstitut für Elektronenmikroskopie undKontaktFeinstrukturforschungund Zentrum für Elektronenmikroskopie GrazTechnische Universität GrazForschungsinstitut für Elektronenmikroskopieund Feinstrukturforschungund Zentrum für Elektronenmikroskopie GrazSteyrergasse 178010 Graz, AustriaTel. +43 316 873-83 20 bzw. -83 21Fax +43 316 81 15 96sekretariat@felmi-zfe.atwww.felmi-zfe.tugraz.atInstitutsleiter:Ao. Univ.-Prof. Dipl.-Ing. Dr. Ferdinand HoferK14Dünnschichten | Infrarot-Mikroskopie | Mikrostrukturen | Nanostrukturen | NanoteilchenRaman-Mikroskopie | Rasterelektronenmikroskopie | Transmissionselektronenmikroskopie232<strong>Handbuch</strong> <strong>der</strong> <strong>Nanoanalytik</strong> <strong>Steiermark</strong> <strong>2005</strong>
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