Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005

I14: Laserzentrum Leoben, JRDie Beschichtungen eignen sich für zahlreicheAnwendungsgebiete:Verschleißschutz und Korrosionsschutz vonWerkzeugenDekoratives Oberflächen-Finishing, verbundenmit Verschleißschutz und funktionellenoptischen EigenschaftenMetallisierung und Haftschichten für andereBeschichtungsverfahrenBiokompatible Oberflächen für Medizintechnikund ChirurgieFunktionelle Schichten und Sensorschichtenfür Optik, Elektronik und OptoelektronikDie Entwicklung und Herstellung von funktionellennanostrukturierten Beschichtungen erfordertden Einsatz von unterschiedlichen Schichtcharakterisierungsmethodenaus dem Bereich derNano-Analytik. Am Laserzentrum Leoben werdenfolgende Eigenschaften von dünnen Schichtenbestimmt:Schichtdicke &SchichthaftungSchichttopographie &SchichtstrukturChemische ZusammensetzungOptische & elektrische SchichteigenschaftenReibungs- &VerschleißkennwerteNC-gesteuerte Bearbeitungsmaschinen6-Achsen-Bearbeitungsmaschine5-Achsen-Bearbeitungsmaschine mit2,8 m Verfahrweg5-Achs-HSC-Bearbeitungszentrum mit integrierter LaserauftragsschweißeinrichtungForschungsbereich „Laserdünnschichttechnik“Gütegeschaltete Lasersysteme1000 mJ Nd:YAG-Laser (SHG, FHG)(1064 nm, 532 nm, 355 nm)1200 mJ Nd:YAG-Laser (SHG, FHG)(1064 nm, 532 nm)Vakuumbeschichtungsanlagen(PLD, gepulstes DC-Sputtern, Ionenätzen)LaboranlageDemonstrationsanlage (Rezipientendurchmesser 740 mm,Beschichtungshöhe 300 nm)Instrumentelle AusstattungForschungsschwerpunkt„Laserproduktionstechnik“Industrielaser2,5 kW CO 2 -Laser6,0 kW CO 2 -Laser2,5 kW Nd:YAG-Laser4,0 kW DiodenlaserAbbildung 1:Prinzip der HybridPLD-Beschichtung.258Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005