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Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005

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M17: Hochauflösungs-TEM und ElektronenbeugungDurchgang durch die kristalline Probe entstehen.Um möglichst aussagekräftige Bil<strong>der</strong> zu erhalten,muss die Probe extrem dünn sein (am besten nurwenige nm), was hohe Anfor<strong>der</strong>ungen an die Probenpräparationstellt.Die Grundlage für die Entstehung von HR-TEM-Bil<strong>der</strong>n ist die Beugung <strong>der</strong> Elektronen amKristallgitter <strong>der</strong> Probe, wobei <strong>der</strong> Beugungswinkelvon <strong>der</strong> Wellenlänge <strong>der</strong> Elektronen und denkristallografischen Parametern <strong>der</strong> Probe abhängt.Werden Beugungsbil<strong>der</strong> (Röntgen- o<strong>der</strong> Elektronenbeugungsbil<strong>der</strong>)aufgenommen, lässt sich soInformation zur kristallografischen Struktur <strong>der</strong> Probegewinnen (Abb. 2). Einkristalline Proben – wiedas Gold-Nanoteilchen in Abb. 1 – erzeugen einBeugungsmuster, das aus einzelnen Beugungspunkten(-reflexen) besteht, während polykristallineProben Ringdiagramme zeigen. Im TEM kann dasBeugungsbild auf Knopfdruck dargestellt werden,wobei hier hinsichtlich des beleuchtenden Elektronenstrahleszwischen zwei unterschiedlichenBetriebsarten unterschieden wird.Wird für ein Beugungsbild ein paralleles Strahlenbündelzur Beleuchtung <strong>der</strong> Probe benützt,spricht man von Feinbereichsbeugung (selectedarea electron diffraction, SAED). Als Beispiel istdas SAED-Bild des Gold-Nanodreiecks in Abb. 3dargestellt.Abbildung 2:Strahlengang bei <strong>der</strong> Objektivlinse: In<strong>der</strong> hinteren Brennebene <strong>der</strong> Objektivlinsetreffen sich alle Elektronen, welchedie Probe unter dem gleichen Winkelverlassen haben (Beugungsbild), währendin <strong>der</strong> Bildebene alle Elektronenfokussiert werden, die vom gleichen Ortauf <strong>der</strong> Probe stammen.Wie angedeutet, kann jedem Punkt im Beugungsbildein Miller-Index und damit eine bestimmteNetzebene des Kristalls zugeordnet werden, wobei<strong>der</strong> Abstand des Punktes vom Zentrum desBeugungsbildes umgekehrt proportional zum entsprechendenNetzebenenabstand ist. Aus einemBeugungsbild lassen sich also sehr einfach dieNetzebenenabstände in <strong>der</strong> Probe bestimmen.Index Kontakte Institute Lösungen Methoden<strong>Handbuch</strong> <strong>der</strong> <strong>Nanoanalytik</strong> <strong>Steiermark</strong> <strong>2005</strong>45

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