Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005

L19: Hochtemperatur-Röntgendiffraktometrie (HT-XRD)Abbildung 1:tigkeit.Lin(Cps)Abbildung 2:„Bruker-AXS D8 Advance“-Diffraktometer mit Hochtemperaturkammer (links) und schematische Darstellungdes Strahlenganges dieser Anordnung (rechts).Beispiele konkreter Anwendungen der HT-Röntgendiffraktometrieund Problemlösungen, die imDiffraktogramme einer Zr-Probe imTemperaturbereich 450 – 600°C. Dieallochemische Phasenreaktion mitSauerstoff Zr + O 2 → ZrO 2 (Baddeleyit)findet bei 510 °C statt. Insert A: Zirkonblechvor (rechts) und nach (links) demAufheizen in Sauerstoffatmosphäre.industriellen Umfeld oft gebraucht werden, sind inTab. 1 angeführt.Abb. 2 zeigt als Beispiel für eine Phasenreaktiondie Oxidation von Zirkonium. Mittels Hochtemperatur-Diffraktometriekann die Umwandlungstemperatureindeutig bestimmt werden.In Abb. 3 ist die Kristallitgröße in CrN-Schichtenin Abhängigkeit von der Temperatur dargestellt. Beiniedrigen Temperaturen ist die Keimbildungsgeschwindigkeitbestimmend, während mit steigenderTemperatur die Kristallwachstumsgeschwindigkeitan Bedeutung gewinnt. Da dieses Verhalten durchdie Einlagerung von Sauerstoff beeinflusst wird,konnte mit diesem Experiment der Einfluss vonOxinitridphasen auf das mechanische Verhalten vonCrN-Dünnschichten nachgewiesen werden.Index Kontakte Institute Lösungen MethodenMariann Lovonyak, Reinhold EbnerMaterials Center Leoben Forschung GmbH,Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005167