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Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005

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M31: Rastertunnel mikroskopie (RTM / STM)Rastertunnelmikroskope können in Vakuum, anLuft und sogar in Flüssigkeiten betrieben werden.Um höchste atomare Auflösungen zu erreichen undungewollte Einflüsse von Fremdstoffen zu vermeiden,werden RTM-Messungen zumeist im Ultrahoch-Vakuumdurchgeführt. Die heute erzielbareAuflösung in Rastertunnelmikroskopen liegt in lateralerRichtung bei 10 pm, in vertikaler Richtung beibis zu 1 pm. Limitierende Faktoren sind die Stabilität<strong>der</strong> Rastereinheit gegenüber akustischen Schwingungen,die Stellgenauigkeit <strong>der</strong> Piezoelemente, dieBeschaffenheit <strong>der</strong> Spitze sowie die Genauigkeit bei<strong>der</strong> Messung des Tunnelstroms.Die Rastertunnelmikroskopie hat sich in denletzten Jahren zur wichtigsten Methode für dieCharakterisierung von Nanostrukturen entwickelt.Das RTM bietet die Möglichkeit periodische undAbbildung 2:Atomar aufgelöstes RTM-Bild einerneuartigen V 2 O 3 -Oxidphase auf einerPd(111)-Oberfläche.aperiodische elektronische, topographische, optischeo<strong>der</strong> magnetische Strukturen mit bis zu atomarerAuflösung zu untersuchen. Von beson<strong>der</strong>emInteresse im Hinblick auf praktische Anwendungen,beispielsweise in <strong>der</strong> heterogenen Katalyseo<strong>der</strong> in einer zukünftigen Nanoelektronik, ist dieUntersuchung <strong>der</strong> Oberflächen von ultra-dünnenOxidschichten (nur wenige Nanometer dick) mitatomarer Auflösung. Abb. 2 zeigt als Beispiel eineRTM-Aufnahme einer dünnen Vanadiumoxidschichtmit <strong>der</strong> formalen Stöchiometrie V 2O 3auf einerPd(111) Oberfläche, die eine neuartige Strukturaufweist [1].Literatur[1] S. Surnev, L. Vitali, M. G. Ramsey, F. P. Netzer,G. Kresse, J. Hafner (2000) „Growth andstructure of ultrathin vanadium oxide layers onPd(111)”. Phys. Rev. B 61, 13945 – 54.Svetlozar Surnev, Michael Ramsey, Falko NetzerKarl-Franzens-Universität GrazInstitut für Physik, Bereich Experimentalphysik,Oberflächen- und GrenzflächenphysikMethoden:M28Lösungen:L32Institute:I11 | I8 | I10 | I12Kontakte:K45Index Kontakte Institute Lösungen MethodenNanoelektronik | Oberflächentopographie | Piezoelement | Rastertunnelmikroskopie | STMTunneleffekt | Tunnelstrom | Vanadiumoxid<strong>Handbuch</strong> <strong>der</strong> <strong>Nanoanalytik</strong> <strong>Steiermark</strong> <strong>2005</strong>83

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