Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005

L21: HT-XRD – Spannungen und Deformationenperatur. Bei ersteren kehrt die Spannung im Filmnach dem Abkühlen nicht mehr zum Ausgangswertzurück (irreversible Spannungsveränderungen), beiletzteren schon.Weitere Messungen zeigen, dass auch dieSchichten mit ursprünglich irreversiblem Verhaltendurch thermische Behandlung so verändert werdenkönnen, dass die temperaturabhängigen Spannungsänderungenin der Schicht reversibel gemachtwerden können (Rekristallisationseffekte).ZusammenfassungMit Hilfe von Hochtemperatur-Röntgenbeugungkann gemessen werden, welche temperaturbedingtenSpannungen in dünnen Metallschichten auf unterschiedlichstenSubstraten auftreten und wie dieHerstellungsbedingungen, die Materialwahl sowiemögliche Temperaturbehandlungen der Schichtendas Spannungsverhalten beeinflussen.Literatur[1] H. J. Bunge (1982) „Texture Analysis inMaterial Science“. Butterworths, London.593 Seiten.Christian ReschAnton Paar GmbHAbbildung 5:Spannung (σ I ) entlang der Al-Schichtenbeim Aufheizen und Abkühlen. T D …Abscheidungstemperatur bei der Film-Herstellung.Ernst Eiper, Jozef KeckesÖsterreichische Akademie der WissenschaftenErich-Schmid-Institut für MaterialwissenschaftRoland ReselTechnische Universität GrazInstitut für FestkörperphysikMethoden:M15 | M42Lösungen: —Institute:Kontakte:I1K19Dünnschichten | Hochtemperatur | Hochtemperatur-Röntgendiffraktometrie | HT-XRDKristallstruktur | Metallfilm | Röntgenbeugung/diffraktion | Spannungen, mechanischethermische Gitterdeformation172Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005