Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005

L34: Sekundärionen-Massenspektroskopie (SIMS) mittels FIBBei der Herstellung von Hohlkugelstrukturenaus Titan wird z.B. Aluminium als Sinterhilfe beigemengt.Es stellt sich die Frage, wie und wo dasAluminium im fertigen Produkt vorliegt: homogenverteilt, in Form von intermetallischen Phasen oderals Oxid an der Oberfläche? Dazu wurden von derOberfläche der Hohlkugeln schrittweise Schichtenvon einigen hundert nm bis einige μm mit dem Ionenstrahlabgetragen und dabei Massenspektrenaufgenommen. Es zeigt sich, dass das Aluminiumvorwiegend an der Oberfläche und dort zum Teilin Form eines Oxids vorliegt. Abb. 1 zeigt eine typischeHohlkugelstruktur und ein Massenspektrumals Beispiel. Man beachte die Möglichkeit einzelneIsotope aufzulösen, was diese Methode auch fürTracer-Aufgaben geeignet macht.Christian Motz, Daniel Kiener, Thomas Schöberl,Reinhard Pippan, Gerhard DehmMontanuniversität LeobenDepartment Materialphysikund Österreichische Akademie der WissenschaftenErich-Schmid-Institut für MaterialwissenschaftMethoden:M13Lösungen: —Institute:I3Kontakte:K31FIB | Focused Ion Beam | Nanomechanik | Rasterionenmikroskopie | SIMS200Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005