Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005

L39: Untersuchung eines Defektes in einem HL-BauelementAbbildung 3:Abbildung 4:EELS-Spektren an einer TiN-Schicht (Analysepunkte: siehe Abb. 2): zu sehen sind die Ionisationskantenvon Stickstoff (N-K), Titan (Ti-L23), Sauerstoff (O-K), Aluminium (Al-K) und Silizium (Si-K).EFTEM-Elementverteilungsbilder von Ti(rot), N (grün) und O (blau), die in einemFalschfarbenbild überlagert wurden(gleicher Probenbereich wie Abb. 2).Abbildung 5:Methoden:Quantitatives Konzentrationsprofil,das aus quantifizierten Verteilungsbildernder entsprechenden Elementegewonnen wurde (Position: siehe Pfeilin Abb. 2; aus [1]).M8 | M11 | M2Lösungen: —Institute:Kontakte:I4K12Index Kontakte Institute Lösungen MethodenEELS | EFTEM | Elektronenenergieverlustspektroskopie | Elementverteilungsbilder | EnergiefilterungEnergiefilterungs-Transmissionselektronenmikroskopie | Halbleiter | TEMTransmissionselektronenmikroskopieHandbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005213