Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005

LösungenL8: Chemische Zusammensetzung einer ultradünnen SchichtL8: Chemische Zusammensetzungeiner ultradünnenFulleren-Schicht (C 60) – XPS-UntersuchungenIm Zusammenhang mit der Herstellung von organischenHalbleiterbauelementen werden unteranderem ultra-dünne C 60 -Schichten (C 60 = „Kohlenstoff-Fußbälle“)verwendet. Die elektrischen Eigenschaftenhängen entscheidend von der Qualität(Struktur und Reinheit) dieser Schicht ab. Dasvorliegende Beispiel (s. Abb. 1) zeigt die chemischeZusammensetzung der C 60 -Schicht, die bei dreiunterschiedlichen Präparationsbedingungen aufeiner anderen organischen Schicht, die auf Glasaufgebracht war, abgeschieden worden ist. Mansieht deutlich, dass im Fall c) die Schichten amhomogensten sind, da praktisch kein Signal vomGlassubstrat mehr zu sehen ist. Auch der Sauerstoffgehalt,offensichtlich durch Adsorption ausder Luft, ist bei den drei Proben unterschiedlich.Die Kombination dieser Daten mit den zugehörigenelektrischen Eigenschaften ermöglicht die Optimierungder Präparationsbedingungen.Adolf WinklerTechnische Universität GrazInstitut für FestkörperphysikAbbildung 1:Methoden:XPS-Spektren einer ultradünnen Fulleren-Schicht(C 60 ).M32Lösungen: –Institute:Kontakte:Dünnschichten | Fullerene | Photoelektronenspektroskopie | XPSI8K50Index Kontakte Institute Lösungen MethodenHandbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005141