Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005

M10: Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDXS)Die Quantifizierung eines Röntgenspektrums(Abb. 2, Insert) kann typischerweise mit einer Genauigkeitvon wenigen Prozent durchgeführt werden,was wesentlich vom analysierten Element abhängt.Auch für die Nachweisempfindlichkeit lässtsich kein einzelner Wert angeben, da diese von unterschiedlichenFaktoren bestimmt wird (Messzeit,analysiertes Element, Probenzusammensetzung).In den meisten Fällen können Elemente bis in denBereich von 0,1 bis 1 Gewichts-% nachgewiesenwerden; unter besonderen Bedingungen kann dieNachweisempfindlichkeit bis in den 100 ppm-Bereichgedrückt werden.Methoden:M2 | M8 | M30Werner Grogger, Ferdinand Hofer Lösungen: —Technische Universität GrazInstitute:I4 | I3Forschungsinstitut für Elektronenmikroskopie undFeinstrukturforschung Kontakte:K12und Zentrum für Elektronenmikroskopie GrazEDX | EDXS | Energiedispersive Röntgenspektroskopie | RöntgenspektroskopieTransmissionselektronenmikroskopieIndex Kontakte Institute Lösungen MethodenHandbuch der Nanoanalytik Steiermark 200527