Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005

L43: XPS-Untersuchungen an Titanoxid-SchichtenAbbildung 2:XPS-Detailaufnahme des Ti-2p-Dublettsbei ungereinigter Probe und nachSputtern mit 500 eV bzw. 2000 eV derSchicht TiO 2 -16-FUPA aus einer PLD-Laboranlage mit 60 sccm Sauerstofffluss.Das Auftreten eines einzelnenTi-2p-Dubletts mit einer Peakverschiebungvon 4,8 eV im Vergleich zur Lagedes metallischen Dubletts bei derungereinigten Probe lässt auf einenvollständigen Ablauf der Reaktion zuTiO 2 schließen.Abbildung 3:Methoden:Detailscan des TiO 2 -2p-Dubletts beiunter verschiedenen Bedingungen hergestelltenTiO 2 -Schichten. Alle Probensind 20 Minuten mit 500 eV gesputtert.Der zu niedrigeren Bindungsenergienverschobene relative Anteil des Dublettsist bei höherem Sauerstoffflussgeringer.M32Lösungen: —Institute:Kontakte:chemische Zusammensetzung | ESCA | Koordinationszahlen | OberflächenanalytikRöntgenphotoelektronenspektroskopie | Stöchiometrie | XPSI10K7Index Kontakte Institute Lösungen MethodenHandbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005219