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Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005

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MethodenM31: Rastertunnel mikroskopie (RTM / STM)M31: Rastertunnelmikroskopie(RTM / STM)Im Rastertunnelmikroskop (RTM, o<strong>der</strong> engl.Scanning Tunneling Microscope, STM) wird dasabzubildende Objekt auf einer Oberfläche mit einerfeinen Metallspitze abgetastet (Abb. 1). Wird dieSpitze nahe, d.h. in den Abstand ≤ 1 nm, an dieProbe gebracht und wird eine kleine Spannung(einige Millivolt bis Volt) zwischen <strong>der</strong> Spitze und<strong>der</strong> Probe angelegt, so fließt ein kleiner Strom.Dieser Strom (typisch einige Nanoampère) wirdTunnelstrom genannt, da er auf Grund des quantenmechanischenTunneleffekts entsteht. Die enormevertikale (und auch laterale) Auflösung des RTMsist dadurch erklärbar, dass <strong>der</strong> Tunnelstrom exponentiellvom Abstand zwischen Probe und Spitzeabhängt: Wenn <strong>der</strong> Abstand um 0,1 nm verän<strong>der</strong>twird, verän<strong>der</strong>t sich <strong>der</strong> Tunnelstrom um das 10-fache. Der Tunnelstrom kann als Regelgröße imRTM verwendet werden, wobei er in einem Rückkopplungskreisvon <strong>der</strong> Steuerelektronik durchVerän<strong>der</strong>ung des Abstandes zwischen Spitze undProbe konstant gehalten wird. Auf diese Weisewerden Höhenän<strong>der</strong>ungen an <strong>der</strong> Oberfläche inHöhenän<strong>der</strong>ungen <strong>der</strong> Abtastspitze über <strong>der</strong> Probeumgesetzt. Wird die Spitze mit Hilfe eines Piezoelementesrasterförmig über die Oberfläche bewegtund <strong>der</strong> Abstand Spitze-Probe als Funktion <strong>der</strong>Position aufgezeichnet, so entsteht ein Abbild <strong>der</strong>Oberflächentopographie, die mit atomarer Auflösungdargestellt werden kann.die Än<strong>der</strong>ung des Tunnelstromes gemessen wird.In <strong>der</strong> Regel findet <strong>der</strong> „Konstant-Strom-Modus“Anwendung. Hier wird die Spitze an je<strong>der</strong> lateralenPosition auf einen konstanten Tunnelstromeingestellt. Als Messwert dient <strong>der</strong> Abstand, umden sich die Spitze an die Probe annähern o<strong>der</strong>von ihr entfernen muss, um den Tunnelstrom konstantzu halten. Eine weitere Meßmethode ist <strong>der</strong>„Spektroskopie-Modus“. Bei dieser Betriebsartwird an jedem lateralen Messpunkt die Variationdes Tunnelstroms mit <strong>der</strong> angelegten Spannungaufgezeichnet (Strom-Spannungs-Kennlinie). DerSpektroskopie-Modus ermöglicht die Messung <strong>der</strong>lokalen elektronischen Eigenschaften einer Probe,d.h. die Bestimmung <strong>der</strong> elektronischen Strukturbis auf atomares Niveau.Bei Rastertunnelmikroskopen können dreiverschiedene Messmodi unterschieden werden:Beim „Konstant-Höhen-Modus“ rastert die Spitzein konstanter Höhe über eine Probe, währendAbbildung 1:Schematische Darstellung <strong>der</strong> Funktionsweiseeines Rastertunnelmikroskops.82<strong>Handbuch</strong> <strong>der</strong> <strong>Nanoanalytik</strong> <strong>Steiermark</strong> <strong>2005</strong>

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