Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005

M17: Hochauflösungs-TEM und ElektronenbeugungAbbildung 3:SAED-Bild eines Gold-Nanodreiecks.Alternativ dazu kann der Elektronenstrahl auchauf die Probe fokussiert werden, was die Strukturanalysesehr kleiner Probenbereiche erlaubt(10 nm). Man spricht hier von konvergenter Elektronenbeugung(convergent beam electron diffraction,CBED). In diesem Fall entsteht kein Punktmuster,sondern die Punkte weiten sich – entsprechenddem Konvergenzwinkel des Strahls – zu kreisförmigenScheiben auf. CBED-Bilder beinhalten mehrInformation als konventionelle SAED-Bilder (Abb. 4):Zusätzlich zu Netzebenenabständen können auchAussagen über die Symmetrie des vorliegendenKristallsystems (Punktgruppe, Raumgruppe), dieexakte Wellenlänge der Elektronen, Gitterparameterund die Einheitszelle selbst getroffen werden. Durchdie Kombination von CBED mit der energiefilterndenTEM (EFTEM) können die meisten inelastischgestreuten Elektronen ausgeblendet werden, waszu einer wesentlichen Verbesserung des Kontrastesin CBED-Bildern führt und somit eine genauerequantitative Auswertung ermöglicht.Werner Grogger, Michael Rogers, Christian Gspan,Gerald Kothleitner, Ferdinand HoferTechnische Universität GrazForschungsinstitut für Elektronenmikroskopie undFeinstrukturforschungund Zentrum für Elektronenmikroskopie GrazMethoden:M2 | M11 | M30Abbildung 4:CBED-Bild eines Silizium-Einkristalls([101]-Zonenachse, energiegefiltert).Lösungen:Institute:L36I4 | I3Kontakte:K12CBED | Elektronenbeugung | Hochauflösungselektronenmikroskopie | HREM | HR-TEMKonvergente Elektronenbeugung | SAED | Transmissionselektronenmikroskopie46Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005