Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005

L11: Eigenspannungs-CharakterisierungenDie Ergebnisse zeigen, dass durch den Glühprozesseine plastische Verformung der Aluminiumschichthervorgerufen wird, deren Folge einewesentliche Steigerung der mechanischen Zugspannungenist. Weiters zeigt sich eindeutig eineRelaxation der mechanischen Druckspannungenin der Aluminiumnitridschicht.Methoden:M15 | M42Josef Keckes, Ernst Eiper Lösungen: –Materials Center Leoben Forschung GmbH,Institute:I15 | I3Österreichische Akademie der WissenschaftenErich-Schmid-Institut für Materialwissenschaft Kontakte:K18 | K19und Montanuniversität Leoben, Department MaterialphysikEigenspannungsanalyse | Röntgendiffraktometrie | Spannungen, extrinsischeSpannungen, intrinsische | XRDIndex Kontakte Institute Lösungen MethodenHandbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005149