Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005

LösungenL17: FIB in der Mikro- und NanomechanikL17: Fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der MikroundNanomechanikDie fortschreitende Miniaturisierung von Bauteilensowie die Entwicklung von neuartigen Werkstoffen(z.B. Nano-Verbundwerkstoffen) erforderneine Kenntnis der mechanischen Eigenschaftenin kleinsten Dimensionen. Dazu zählen Zug- undDruckfestigkeit, Bruchzähigkeit und Ermüdungsfestigkeit.Die grundsätzlichen Problematiken derMikro- und Nanomechanik sind die möglichst schädigungsfreieProbenherstellung und die zuverlässigeDurchführung der mechanischen Tests.Abbildung 1:Beispiele von mittels FIB präparierten Mikrobiegebalken und der entsprechenden Abhängigkeit der Fließspannungvon der Balkendicke.162Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005