Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005

LösungenL34: Sekundärionen-Massenspektroskopie (SIMS)mittels FIBL34: Sekundärionen-Massenspektroskopie (SIMS) mittels FIBWerden die durch einen fokussierten Ionenstrahl(FIB) aus dem Grundmaterial herausgeschlagenenIonen (Sekundärionen) nach ihrer Masse analysiert,so kann man Informationen über die Zusammensetzungdes Grundmaterials erhalten. Die Sekundärionen-Massenspektroskopie(SIMS) bietet einigeVorteile gegenüber der vergleichbaren energiedispersivenRöntgenanalyse (EDX). So lassen sichauch sehr leichte Elemente bis hin zum Wasserstoffanalysieren bei zum Teil wesentlich besserenNachweisgrenzen. Allerdings hat diese Methodeauch Nachteile: nicht alle Elemente lassen sichanalysieren und quantitative Ergebnisse sind nurmit einer durchgehenden Standardreihe möglich.Da der Ionenstrahl während der Analyse Probenmaterialabträgt, können recht einfach Tiefenprofileder Zusammensetzung erstellt werden.Index Kontakte Institute Lösungen MethodenAbbildung 1:Analyse der Zusammensetzung einer Zellwand einer Titan-Hohlkugel mit Hilfe des Sekundärionen-Massenspektrometers.Handbuch der Nanoanalytik Steiermark 2005199