Nationaler Inventarbericht zum Deutschen ... - QFC

Nationaler Inventarbericht Deutschland – 2012
4.7.5 Lösemittel (2.F.5)
Umweltbundesamt
4.7.5.1 Beschreibung der Quellgruppe (2.F.5)
Der Einsatz von HFKW als Lösemittel war in Deutschland bis zum Jahr 2001 verboten
(2. BImSchV) und ist auch heute noch stark eingeschränkt. Jede Anwendung muss einzeln
beantragt werden, wobei eine Bewilligung nur im Sonderfall erteilt wird.
4.7.5.2 Methodische Aspekte (2.F.5)
Die Emissionsberechnung erfolgt nach Tier 2 der IPCC-GPG 2000 (Gleichung 3.36).
Emissionsfaktoren
Bei der Verwendung geht man von einer vollständigen Emission innerhalb von 2 Jahren aus.
Aktivitätsdaten
Die Emissionsangaben basieren auf Verkaufsdaten des autorisierten Händlers und betreffen
ausschließlich HFKW-4310mee. Da die Daten vertraulich sind, werden sie unter CRF 2.G
berichtet.
4.7.5.3 Unsicherheiten und Zeitreihenkonsistenz (2.F.5)
Die Unsicherheiten für die Unterquellgruppe Lösemittel wurden vollständig erfasst.
4.7.5.4 Quellenspezifische Rückrechnungen (2.F.5)
Rückrechnungen sind nicht erforderlich.
4.7.5.5 Geplante Verbesserungen, quellenspezifisch (2.F.5)
Derzeit sind keine Verbesserungen geplant.
4.7.6 Andere Anwendungen, die ODS Ersatzstoffe verwenden (2.F.6)
Deutschland berichtet keine Emissionen in dieser Quellkategorie
4.7.7 Halbleiterproduktion (2.F.7)
4.7.7.1 Beschreibung der Quellgruppe (2.F.7)
In der Halbleiterindustrie emittieren gegenwärtig FKW (CF 4 , C 2 F 6 , C 3 F 8 , c-C 4 F 8 ), HFKW
(CHF 3 ), Stickstofftrifluorid (NF 3 ) und SF 6 aus dem Fertigungsprozess. Diese Gase werden
zum Strukturätzen dünner Schichten und zum Reinigen der Reaktionskammern nach dem
CVD-Prozess (Chemical Vapour Deposition) eingesetzt. Einige der in die Plasmakammern
eingebrachten FKW werden im Produktionsprozess teilweise zu CF 4 umgewandelt.
Die Emissionen aus der Halbleiterindustrie hängen zum einen von der Häufigkeit des
Einsatzes von Abgasreinigungstechniken ab. Zum anderen hat die jährlich produzierte
Menge an Halbleitern direkten Einfluss auf die Emissionen. Daraus resultieren relativ starke
jährliche Schwankungen in den Emissionen.
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