Nationaler Inventarbericht zum Deutschen ... - QFC

Nationaler Inventarbericht Deutschland – 2012
4.7.7.2 Methodische Aspekte (2.F.7)
Umweltbundesamt
Die Emissionen können nicht allein anhand der eingesetzten Mengen (Verkäufe des
Gasehandels) ermittelt werden, weil die Differenz zwischen Verbrauch und Emission von
verschiedenen Faktoren abhängig ist, nämlich der nur partiellen chemischen Umsetzung im
Plasmareaktor und der Wirkung nachgeschalteter Abgasreinigungsanlagen.
Emissionsfaktoren
Während des Ätzprozesses setzen sich nur etwa 15 % des zugeführten CF 4 chemisch um.
Der Emissionsfaktor als inverse Umsetzungsrate beträgt also 85 % des CF 4 -Verbrauchs.
Aktivitätsdaten
Gesicherte Emissionsdaten liegen für 1990 und 1995 vor. Für die Jahre 1991 bis 1994 wurde
eine lineare Interpolation durchgeführt.
Bis zum Berichtsjahr 2000 basierten die Emissionsangaben auf Befragungen durch EECA-
ESIA (European Electronic Component Manufacturers Association – European
Semiconductor Industry Association). Die nationalen Hersteller wurden zu
Produktionskapazitäten, eingesetzten Stoffmengen und Abgasbehandlungstechniken
befragt.
Seit dem Jahr 2001 liegen aufgrund einer freiwilligen Zusage der Halbleiterindustrie
Emissionsangaben für diese Teilgruppe für alle Einzelstoffe vor. Die Emissionsdaten werden
nach einer einheitlichen Berechnungsformel (Tier 2c-Ansatz) aus dem jährlichen Verbrauch
für jede Produktionsstätte berechnet, aggregiert und vom Zentralverband Elektrotechnik- und
Elektroindustrie e.V. (ZVEI, Bauelemente) an das Umweltbundesamt gemeldet.
4.7.7.3 Quellenspezifische Rückrechnungen (2.F.7)
Geringfügige Rückrechnungen wurden vom Verband für die Jahre 1995 bis maximal 1999
durchgeführt.
Einheit 1995 1996 1997 1998 1999
Submission 2011
11,31 13,90 17,40 17,34 18,80
Submission 2012 C 2 F 6 Emissionen
13,32 14,62 18,13 18,48 18,32
Differenz 2,00 0,72 0,72 1,14 -0,48
Submission 2011
11,19 12,71 12,89 11,69 17,10
Submission 2012 CF 4 Emissionen
11,89 13,25 13,43 12,71 17,15
Differenz 0,70 0,54 0,54 1,02 0,05
t
Submission 2011
1,06 1,25 1,33 1,00 1,05
Submission 2012 CHF 3 Emissionen
1,16 1,30 1,38 1,05 1,06
Differenz 0,10 0,05 0,05 0,05 0,01
Submission 2011
2,04 1,75 2,22 2,44 2,19
Submission 2012 SF 6 Emissionen
2,07 1,75 2,22 2,44 2,19
Differenz 0,04 0,00 0,00 0,00 0,00
4.7.7.4 Geplante Verbesserungen, quellenspezifisch (2.F.7)
Derzeit sind keine Verbesserungen geplant.
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