1164 <strong>Lösungen</strong> <strong>zu</strong> <strong>den</strong> <strong>Aufgaben</strong><strong>den</strong> Welle <strong>zu</strong>sammen. Eine fortschreitende Welle dieserRichtung und Wellenlänge kann sich im Kristall nicht ausbreiten.Durch <strong>den</strong> Elektronenimpuls p = hj}. ausgedrückt,lautet diese Bedingung p = nhl(2d). Die Ausbreitungsrichtungist mitberücksichtigt, wenn man schreibt p = lik. Diestehende Welle hat zwei Hauptschwingungsformen: In <strong>den</strong>Gitterpunkten, d. h. dort, wo die positiven Ionen sitzen, könnenKnoten oder Bäuche der Elektronendichte sein. Derzweite Fall ist energetisch um die Coulomb-Energie der größerenWechselwirkung günstiger. Jeder Zustand, der <strong>zu</strong>einem solchen Impulswert gehört, spaltet also in zwei Zuständeauf, die sich energetisch um eine beträchtliche Energie,die Breite der verbotenen Zone, unterschei<strong>den</strong>. Je nachdemob man sich dem kritischen Impulswert von unten odervon oben her nähert, mündet die fortschreitende Welle in <strong>den</strong>unteren oder <strong>den</strong> oberen Zustand mit stehender Welle ein. Die"stehen<strong>den</strong>" Zustände entsprechen also <strong>den</strong> Bandrän dem, die"fortschreiten<strong>den</strong>" dem Innern des Bandes. Das freie Elektronhätte die übliche Energie-Impuls-Abhängigkeit W =p 2 1(2m), eine Parabel. Diese Parabel wird an <strong>den</strong> kritischenp-Werten aufgeschnitten, und die losen En<strong>den</strong> wer<strong>den</strong> aufwärtsbzw. abwärts gebogen, um die verbotenen Zonen <strong>zu</strong>erzeugen (Abb. 14.50). Jedes Band, außer dem ersten, erhältso eine S-förmige W(p)-Abhängigkeit mit einem Wendepunkt,der nicht notwendig in die Mitte fällt.14.3.3. Effektive MasseWenn die if;-Welle eines Teilchens gegeben ist, kann manEnergie und Impuls sofort als W = hv, p = hl A ablesen.Der Impuls ist dabei noch nicht notwendig mit einer Geschwindigkeitverbun<strong>den</strong>: Die Phasengeschwindigkeit derWelle hat nichts damit <strong>zu</strong> tun. Wenn man eine Wellengruppeaus mehreren monochromatischen Einzelwellen <strong>zu</strong>sammenbaut,hat man die Gruppengeschwindigkeit v = dv I dA -l(vgl. Abschn. 4.2.4b), d. h. v = dW ldp. Dies ist für ein freiesTeilchen mit W = p 2 I (2m) selbstverständlich, gilt aber auch,wenn dieser einfache Zusammenhang W(p) nicht mehr <strong>zu</strong>trifft,z. B. im Kristall. Die Beschleunigung ergibt sich darausals v = fJ I ot ( d W I dp) = p 8 2 W I op 2 . Beachtet man,daß die Impulsänderung eine Kraft ist, dann verhält sichdas Elektron so, als habe es die "effektive Masse"( 82 W I op2 ) -l. Für das freie Teilchen mit W = p2 I (2m) ergibtsich so der übliche, konstante Wert. Im Energieband einesKristalls mit seinem S-förmigen W(p) (vgl. Aufgabe14.3.2) entspricht der Wendepunkt von W(p) seltsamerweiseeiner unendlichen effektiven Masse. Am Wendepunktwechselt diese das Vorzeichen: im unteren Teil des Bandesist sie positiv, im oberen negativ. Teilchen mit negativerMasse laufen langsamer, wenn man sie <strong>zu</strong> beschleunigen versucht.So radikal und eigenartig wirkt sich die Bindung ansKristallgitter auf die Elektronen aus, die offenbar nur mitgroßem Vorbehalt als "quasifrei" an<strong>zu</strong>sehen sind. Für diemeisten Betrachtungen kommt man allerdings mit dem üblichenTeilchenbild aus, wenn man diese seltsamen Werte derMasse und ihre Veränderlichkeit beim Aufsteigen und Absinkenim Band berücksichtigt.14.3.4. Elektron und LochEin Loch im Valenzband ist ein fehlendes Elektron, genauwie in der Dirac-Theorie ein Positron ein fehlendes Elektronin einer sonst vollbesetzten "energetischen Unterwelt" ist.Die energetische Trennung von Unter- und Oberwelt ist allerdingsim Festkörper viel kleiner: Einige e V gegen 1 MeVim Vakuum. Man kann also das Loch als Antielektron, dieAbsorption eines Photons mit Hebung eines Valenzelektronsins Leitungsband als Paarbildung und die Rekombinationzwischen Elektron und Loch als Paarvernichtung auffassen.Legt man ein elektrisches Feld an einen Kristall, derLöcher im Valenzband hat, dann nutzen die Valenzelektronendie Möglichkeit aus, durch reihenweises Hineinspringenin <strong>den</strong> unbesetzten Zustand sich vom Feld ziehen <strong>zu</strong> lassen.Das Loch wandert in entgegengesetzter Richtung. Wenn eineBlase aufsteigt, kann man ja auch gleichberechtigt sagen "dieBlase steigt" oder "ein Wasservolumen von der Größe derBlase fällt .in diese hinein, usw.". Das Loch transportiertdann positive Ladung in Gegenrichtung <strong>zu</strong>m Elektronenfluß,leistet also einen Strombeitrag gleichen Vorzeichenswie die Leitungselektronen, nur i. allg. mit anderer Beweglichkeit.Die Leitfähigkeit ist (J = e(nJ.tn + PJ-lp)·14.3.5. Quanten-Hall-EffektEin Elektron führt im Hall-Element außer der Driftbewegunglängs E, die im Magnetfeld <strong>zu</strong>m Querabtrieb und <strong>zu</strong>m HallFeld führt, auch die viel schnellere thermische Bewegungaus, die für ein freies Elektron <strong>zu</strong>m Kreis bzw. <strong>zu</strong>r Spiraleaufgerollt wird. Bezeichnungen wie in Abb. 7.6. QuerspannungU' = E'd = vBd = j.tUdBil, I = bdJ-!enE =bdj.tenUil, also RH =U'II = Bl(enb). Ein Elektronnimmt, in Richtung des B-Feldes, also der Dicke b betrachtet,die Fläche 1 I ( nb) ein (hinter der Fläche ld liegen ja alleldbn Elektronen). Auf diese Fläche entfällt ein Flußquanthl(2e) (Aufgabe 14.7.2) bei RH= hl(2e 2 ) = 12906!.1.Ein freies Elektron würde auf seiner Kreisbahn um dasFeld B genau die Bohr-Bedingung erfüllen, wenn dieseBahn ein Flußquant umschlingt: mv2 Ir = evB =hvl(2u2 ), also L = mvr = hl(27r). Eine solche Bahnkommt im Kristall nur <strong>zu</strong>stande, wenn ihr Radiusr = mvl(eB) wenige Atomabstände ausmacht, also bei kleinemv (kleinem T) und großem B. Bei B = 20 T, T = 2 Kwird nach der klassischen Statistik r :o::l 10-9 m. Gerrauer verstehtman <strong>den</strong> Klitzing-Effekt aus der Struktur der Fermi-Flächenim Zusammenwirken mit dem Landau-Paramagnetismus(Aufgabe 7.4.4).14.4.1. Reiner HalbleiterMan kann das Problem auf mehrere scheinbar verschie<strong>den</strong>eArten behandeln: Als chemisches Gleichgewicht zwischenElektronen und Löchern (Massenwirkungsgesetz), analog<strong>zu</strong>r thermischen Ionisation (Saha-Eggert-Gleichung), mittelsder Boltzmann-Verteilung und, was am angemessenstenerscheint, mittels der Fermi-Verteilung. Das Ergebnis ist jedesmaldasselbe, weil allen speziellen Betrachtungsweisendie Boltzmann-Verteilung <strong>zu</strong>grundeliegt, die bei <strong>den</strong> großenenergetischen Abstän<strong>den</strong>, um die es sich hier handelt, von der
Fermi-Verteilung nicht <strong>zu</strong> unterschei<strong>den</strong> ist. Nehmen wir alsogleich die Fermi-Verteilung. Für jedes Elektron, das ins Leitungsbandgehoben wird, muß im störstellenfreien Kristallein Loch im Valenzband entstehen. Wenn beide Bänder ungefährdie gleiche Gestalt (das gleiche statistische Gewicht)haben, liegt daher die Fermi-Grenze in der Mitte der verbotenenZone. Die Breite ~ W der verbotenen Zone ist » kT,also sieht der Schwanz der Fermi-Verteilung, der in die Bänderragt, genau wie eine Boltzmann-Verteilung aus:j(W) = fo e-t'>w /(2kT), fo ist die Elektronendichte pro Energieintervallim Valenzband, f(W) diejenige in der Höhe Wüber dem Leitungsbandrand. Praktisch liegen alle Leitungselektronenin einem Streifen der Breite kT am unteren Bandrand,also n =No e-t'>W f( 2kT) mit No = JokT. Vom Rekombinationskoeffizientenist hier noch nicht die Rede. Andererseitsmuß aber die gefun<strong>den</strong>e Gleichgewichtsbeset<strong>zu</strong>ngauch aus der Gleichheit zwischen thermischer Anregungund Rekombination folgen: n = rxNo - ßn 2 = 0, alson = ..jrxNolß. Es muß also sein rx = ßN 0 e-t'>W/(kT)_ DieWerte von rx und ß einzeln spielen nur im Nichtgleichgewichteine Rolle. Bei langsamer T-Änderung bleibt manimmer im Gleichgewicht, und die Leitfähigkeit ändert sichproportional n. Die Neigung der Arrhenius-Gera<strong>den</strong>ln (J = const - ~ W I ( kT) gibt dann direkt ~ W.14.4.2. IsolatorNach Aufgabe 14.3.2 entsteht die verbotene Zone durch Aufspaltungder Energie einer stehen<strong>den</strong> I/I-Welle in einen Zustand,wo die Elektronen alle nahe bei <strong>den</strong> Ionenrümpfensind, und einen anderen, wo sie dazwischenliegen. Es handeltsich also im zweiten Zustand so<strong>zu</strong>sagen um eine halbeIonisation. Da die typischen Ionisierungsenergien von Halbleiter-und Isolatorbausteinen zwischen 4 und 9 e V liegen,kann man Bandbreiten von maximal 2-5 eV erwarten. Füreinen fast störstellenfreien Kristall mit ~ W = 2 e V erhältman nach Aufgabe 14.4.1 etwa n = N 0 e-t'>W/(lkT) ~102°e-40 ~ 103 cm-3 . Für eine Konzentration ionisierterStörstellen von 10-6 Atomen/Grundgitteratom, d. h. N ~10 17 cm-3, erhält man nach Abschn.14.3.1 eine Beweglichkeitder Leitungselektronen von J-1 ~ 10 2 cm2Ns; bei sehrviel unreinerem Kristall (N ~ 1022 ) J-1 ~ 10-3 cm2Ns. Damitergeben sich Leitfähigkeiten um 10- 14 bzw.10-20 n- 1 cm- 1 . Der kleinere dieser Werte wird deshalbnur in Ausnahmefällen erreicht, weil eine erhebliche Verunreinigungauch die effektive Breite der verbotenen Zone reduziert,womit n meist schneller steigt als J-1 abnimmt.14.4.3. DotierungEin As-Atom im Si- oder Ge-Gitter sucht sich so gut wiemöglich seiner kubisch-flächenzentrierten Umgebung ein<strong>zu</strong>fügen.Seine vier Nachbaratome reichen ihm je ein Elektronentgegen. Das As steuert seinerseits je ein Elektron <strong>zu</strong>r Bindungbei, behält aber noch ein Außenelektron übrig. Diesesist infolge der verstärkten Abschirmung durch die anderenElektronen nur noch sehr lose gebun<strong>den</strong> und macht sichsehr leicht als Leitungselektron selbständig. Das As bildetalso einen Donator. Der positive As-Rumpf und das Über-Kapitel 14: <strong>Lösungen</strong> 1165Schußelektron verhalten sich wie ein wasserstoffähnlichesSystem, eingebettet in ein Medium hoher DK. Nach Bohrwird die Ionisierungsenergie eines solchen Systems um<strong>den</strong> Faktor e2 gesenkt, der Bahnradius um <strong>den</strong> Faktor e erhöht:Wion = 13,6eVIe2, d.h. 0,014eV für Ge, 0,045eVfür Si: r = e · 0,52 A, d. h. 16 A für Ge, 9,0 A für Si. Damitist gesichert, daß das Elektron eine weite Bahn beschreibt, diesehr viele Gitterpunkte umfaßt, so daß man tatsächlich mitder makroskopischen DK rechnen kann. Die Ionisierungsenergieentspricht etwa 3kT, d. h. thermische Ionisierungist sogar bei Zimmertemperatur leicht. Beim Einbau einesGa-Atoms fehlt ein Bindungselektron. Verglichen mit derkompletten Vierelektronenpaar-Umgebung kann man dasSystem als Loch im Feld eines negativen Ions auffassen.Die Ionisierungsenergie ist die gleiche wie oben. ÄhnlicheBetrachtungen gelten allgemein für <strong>den</strong> Einbau von Teilchenaus "falschen" Spalten des Perio<strong>den</strong>systems in einGitter.14.4.4. BeweglichkeitDer Hall-Effekt liefert direkt ne, d. h. Ladungsvorzeichenund Trägerkonzentration (vgl. Abschn. 7.1.4). Handelt essich um Elektronen und Löcher, dann findet man e(p- n).Man kann also folgern, welche Trägersorte überwiegt (dieBilanz n = p gilt ja nur, wenn es keine Störstellen gibt,die einen erheblichen Teil der Träger eines Vorzeichens abfangenkönnen). Im allgemeinen überwiegt eine Trägerart sostark, daß man nur -en bzw. ep braucht. Eine direkte Leitfähigkeitsmessungliefert (J = e(nJ-tn + PJ-tp), also <strong>zu</strong>sammenmit RH die Beweglichkeit der überwiegen<strong>den</strong> Trägersorte.Man kontaktiere z. B. ein Kristallplättchen von 1 x 1 cm 2Fläche und 1 mm Dicke an <strong>den</strong> Längsseiten und lege 1 V· an. Dann möge lOmA fließen, und senkrecht da<strong>zu</strong> und<strong>zu</strong>m Magnetfeld B = 1 Vslm 2 mögen sich die Querspannungvon 10m V aufbauen. Man findet (Jw-3 n- 1 cm-1 und n 6. 1015 cm-3 und J-1100cm 2 IVs. Die Träger sind positiv, wenn Querfeld, Längsfeldund Magnetfeld die rechte-Hand-Regel erfüllen.14.4.5. RandschichtWenn der Kristall absolut nicht leitete, würde sich eine ganzeBandstruktur im homogenen Feld durch Addition des PotentialsEx einfach etwas schrägstellen. In Wirklichkeit gilt dieseSituation nur eine sehr kurze Zeit nach Einschalten des Feldes;dann häuft der Strom schließlich so viele Elektronen ander einen und Löcher an der anderen Stirnfläche an, daß dasFeld im Innern gerade kompensiert wird. Diese Ladungsanhäufungfrißt also das angelegte Feld auf und muß, als Flächenladungaufgefaßt, die Flächenladungsdichte r/ = eeoEhaben (vgl. Abschn. 6.1.4). Tatsächlich gibt es keine flächenhafteAufladun , sondern eine Wolke mit der Debye-HückelDicke d = eeokT l(e2n 00 ), die sich aus dem Gleichgewichtvon Feldstrom und Diffusionsstrom ergibt (vgl.Abschn. 6.4.6). Die "Flächenladungsdichte" ist dannrl = en 00d = eeoE, d. h. man erhält d = kT I ( eE) undn00 = ee 0E 2 l(kT). Für Felder von 104 bzw. 106 V/ern ergebensich Randschichtdicken d von 200 A bzw. 2 A und La-
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