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KOMMISSION - EUR-Lex - Europa

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360 DE<br />

Amtsblatt der Europäischen Gemeinschaften<br />

15.9.98<br />

Mechanismus des Schiffchens (oder Greifers) und den des Stoffschiebers enthält und<br />

gegebenenfalls aus einer Vorrichtung zum Heben des Nähmaschinenfußes. Nicht dazu<br />

gehören daher z. B. das Gestell, der Tisch und andere Möbel (einschließlich ihrer<br />

Tretvorrichtung) sowie der Koffer.<br />

3. Es wird jedoch darauf hingewiesen, daß bei bestimten Koffernähmaschinen die Bodenplatte<br />

als Sockel ausgebildet ist. In diesem Fall handelt es sich um eine Nähmaschine<br />

und nicht um einen Nähmaschinenkopf.<br />

8452 30 10 mit einseitigem Flachkolben<br />

Diese Nadeln werden in Haushaltsnähmaschinen verwendet. Sie haben folgendes Aussehen:<br />

8456 Werkzeugmaschinen zum Abtragen von Stoffen aller Art durch Laser-, Licht- oder<br />

anderen Photonenstrahl, Ultraschall, Elektroerosion, elektrochemische Verfahren<br />

oder Elektronen-, Ionen- oder Plasmastrahl<br />

8456 10 90 andere<br />

8456 30 11 Drahterodiermaschinen<br />

Neben den in den Erläuterungen zu Position 8456 des HS, Teil A, genannten Maschinen<br />

gehören hierher z. B. auch Maschinen zum Trimmen (Abgleichen) von elektrischen Widerständen<br />

in gedruckten Schaltungen mittels Laserstrahl. Durch diese Maschinen wird das die<br />

Widerstände bildende leitende Material auf den isolierenden Trägern der gedruckten<br />

Schaltungen mittels Laserstrahl so weit abgetragen (entfernt) bis die Widerstände den<br />

gewünschten Widerstandswert erreichen.<br />

Diese Maschinen sind mit einer Elektrode ausgestattet, die aus einem dünnen Draht<br />

besteht, der zwischen zwei Spulen gewickelt ist, die sich an den entgegengesetzten Seiten<br />

des Werkstücks befinden.<br />

8456 91 00 für die Trockenätzung von Mustern auf Halbleitermaterialien<br />

Hierher gehören z. B. Plasmaätzmaschinen, die dazu dienen, mittels Plasmastrahl Strukturen<br />

in das Halbleitermaterial von Wafern zu ätzen. Diese automatischen, durch Mikroprozessoren<br />

gesteuerten Maschinen bestehen im wesentlichen aus einer Reaktionskammer mit<br />

Anode und Kathode, einem Hochfrequenzgenerator, Vakuumpumpen, einer Gasversorgungseinrichtung<br />

und einer Vorrichtung zum Zuführen und Transportieren der Wafer. Sie<br />

arbeiten wie folgt: Die Wafer werden durch die Transportvorrichtung in die evakuierte<br />

Reaktionskammer gebracht, in der durch den Hochfrequenzgenerator zwischen Anode und<br />

Kathode ein elektrisches Spannungsfeld aufgebaut worden ist. In der Gasatmosphäre der<br />

Reaktionskammer werden durch elektrische Entladung positiv geladene Gasionen erzeugt,<br />

die auf dem kathodisch geschalteten Wafer aufprallen und auf diesem infolge ihrer<br />

Aufprallenergie eine Materialabtragung bewirken.<br />

Siehe die Erläuterungen zu Unterposition 8456 91 des HS.

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