KOMMISSION - EUR-Lex - Europa

15.9.98
DE Amtsblatt der Europäischen Gemeinschaften 369
b) Apparaten zum Beschichten (Metallisieren) von Isolierstofftafeln (zum Herstellen von
Dünnschichtschaltungen) oder von Wafern durch Aufdampfen (Position 8417, 8419
oder 8514) oder durch Kathodenzerstäubung (Position 8543);
c) Apparaten zum Trocknen von bedruckten oder gewaschenen Isolierstofftafeln und
Durchlauftrockner für Wafer (Position 8419 oder 8514);
d) Zentrifugen (Lackschleudern) zum Auftragen des lichtempfindlichen Photolacks auf
Isolierstofftafeln oder Wafer (Position 8421);
e) Sprühätzmaschinen mit Spritzvorrichtung zum Besprühen von Isolierstofftafeln mit
Ätzmitteln (Position 8424);
f) Siebdruckmaschinen zum Bedrucken von Isolierstofftafeln mit ätzfester Farbe (Position
8443);
g) Plasmaätzmaschinen, die durch Materialabtrag mittels Plasmastrahl Strukturen in das
Halbleitermaterial von Wafern ätzen, Laserritzmaschinen zum Zerteilen von Wafern in
einzelne Mikroplättchen (chips) sowie Laserbeschriftungsmaschinen zum Beschriften
der Kunststoffgehäuse von fertiggestellten monolithischen integrierten Schaltungen oder
diskreten Halbleiterbauelementen (Position 8456);
h) Werkzeugmaschinen zum Bohren oder Fräsen von Isolierstofftafeln, zum Zerteilen von
Siliciumstäben in Wafer (z. B. Innenloch-Wafersägen), zum Zuschneiden oder Stanzen
von Leiterplatten sowie zum Schleifen oder Polieren von Isolierstofftafeln oder Wafern
(Position 8464 oder 8465);
ij) Pressen zum Herstellen der Kunststoffgehäuse für Chips durch Umpressen der Chips
mit Kunststoffmaterial (Position 8477);
k) „Wire Bonder“ genannten Geräten zum Verschweißen von Golddrähten mit den
Kontaktpunkten in monolithischen integrierten Schaltungen mit Hilfe von Ultraschall
oder durch elektrisches Kompressionsschweißen (Position 8515);
l) Apparaten zum galvanischen Überziehen von Isolierstofftafeln mit einer Metallschicht,
galvanischen Bädern zum Verzinnen der Chips-Anschlußstifte und Teilchenbeschleunigern
zum Implantieren von Ionen eines bestimmten Elements (z. B. Bor oder Phosphor)
(Position 8543);
m) Apparaten (Pattern Generators) zum photograpischen Herstellen von Photomasken für
gedruckte Schaltungen oder für die Übertragung von Schaltungsbildern (Strukturen) auf
Wafer (Position 9006);
n) Belichtungsapparaten zum Übertragen (Projizieren) von Leiterbahnen bzw. Schaltungsbildern
mittels Photomasken auf mit lichtempfindlichem Photolack bedruckte oder
beschichtete Isolierstofftafeln bzw. Wafer (Position 9010);
o) elektrischen Maschinen und Geräten zum Prüfen der fertiggestellten gedruckten Schaltungen,
Hybridschaltungen, Wafer oder Chips durch elektrisches Messen auf Funktionsfähigkeit
sowie zum Feststellen und Orten der Fehler, auch mit Vorrichtung zur
Fehlermarkierung oder mit Sortiervorrichtung zum Einreihen der geprüften Erzeugnissen
in bestimmte Magazine (Position 9030).
Hierher gehören auch sogenannte Garagentoröffnersysteme. Das sind mechanische Geräte
zum automatischen Öffnen und Schließen von Garagen-Kipptoren mittels Funkfernsteuerung.
Sie werden an der Decke der Garage anmontiert und bestehen im wesentlichen aus
einem elektrischen Stellmotor mit Antriebsspindel, einer Verbindungsschiene mit Kraftübertragungsvorrichtung
und einem Betätigungsarm, der am Garagentor befestigt wird. Der
Stellmotor ist über ein Kabel mit dem in die Garage eingebauten Funk-Fernsteuerempfangsgerät
verbunden, das die Stromzufuhr zum Stellmotor einschaltet, wenn es vom Funk-
Fernsteuersendegerät des Kraftwagens Steuersignale empfängt.