Medizinische Physik 3: Medizinische Laserphysik [2004]

246 H. Tiziani
Abb. 11.5. Aufbau eines konfokalen Mikroskops mit Nipkow-Scheibe
struiert. Mit dem konfokalen Verfahren lassen sich technische Objekte innerhalb
weniger Sekunden mit einer Höhenauflösung von bis zu 15 nm bei einem
Bildfeld von < 1×1 mm vermessen. Die hohe Genauigkeit des Messverfahrens
eröffnet ein großes Spektrum von Anwendungsmöglichkeiten, in der Medizin
aber auch in der Halbleiterindustrie und zur Materialerforschung.
Konfokale Mikroskopie mit Mikrolinsen. Alternativ zu den Pinholes
werden Mikrolinsen (brechend oder beugend) eingesetzt, wie Abb. 11.6 zeigt.
Um die Topographie erfassen zu können ist eine Fokussierung erforderlich,
d.h. die Objektebene wird in z-Richtung (Tiefe) mit Hilfe eines Piezoelements
verschoben, die jeweiligen Bildschnitte werden ausgewertet und zu einem 3D-
Bild zusammengefügt.
Anhand zahlreicher Messungen konnte gezeigt werden, dass es mit diesem
Aufbau möglich ist, große Objektfelder (bis zu 30 × 30 mm) parallel zu vermessen.
Dabei lassen sich Höhenauflösungen von besser als 100 nm erreichen
[6, 7].
Die verwendeten Mikrolinsen besitzen eine NA von 0,29, einen Durchmesser
von 150 µm und eine Brennweite von 250 µm. Das reflektierte Bündel
wird von der Abbildungslinse auf ein Pinhole fokussiert und schließlich auf
einer CCD abgebildet.