Medizinische Physik 3: Medizinische Laserphysik [2004]

262 H. Tiziani
Abb. 13.4. Prinzip des Fizeau-Interferometers
Auf diese Weise können Unebenheiten und Dicken von Schichten, z.B. in
der Halbleiterindustrie, gemessen werden. Der Intensitätsverlauf der Interferenzstreifen
ist cos 2 -förmig. Dadurch sind der visuellen Ablesegenauigkeit
Grenzen gesetzt (rund 0,1 Streifenabstand). In der digitalen Interferometrie
mit automatischer Streifenauswertung sind Auflösungen von l/100 möglich.
Zur Verbesserung der Genauigkeit können auch Mehrfachinterferenzenanordnungen
Anwendung finden (Fabry-Perot).
13.2.2 Michelson-Anordnung
Die einfallende Planwelle wird mit Hilfe des Strahlteilers S in zwei Hälften
aufgeteilt (Abb. 13.5). Die Welle (1) durchläuft den optischen Weg 1 und
wird am Spiegel M1 reflektiert, die Welle (2) wird vom Spiegel M2 reflektiert.
Abb. 13.5. Michelson-Anordnung