Medizinische Physik 3: Medizinische Laserphysik [2004]

270 H. Tiziani
Abb. 13.12. Mireau-Interferometer zur Mikrostrukturanalyse
zur Zeit Zwei- und Dreiwellenlängenverfahren untersucht. Mit dem skizzierten
Aufbau könnenauchEindrücke zur Härteprüfung vermessen werden.
Das Phasenschiebeverfahren eignet sich aber auch zur Mikroprofilanalyse,
wo Höhenauflösungen von 0,1 nm erreicht werden, bei wenigen µm Lateralauflösung.
Allerdings sind polierte Oberflächen erforderlich. Wird ein Twyman-Green-Typ-Interferometer
für mikroskopische Untersuchungen benutzt,
müssen optische Komponenten wie Objektive im Referenz- und Prüfarm
möglichst identisch sein. Die Phasenschiebung erfolgt im Referenzarm mittels
Piezoelementen, dies ist auch in Abb. 13.12 angedeutet. Als Ergebnis
einer Untersuchung zeigt Abb. 13.13 das Profil einer Compact Disc (CD) in
Pseudo-3D-Darstellung, Breite der ” pits“ 0,6 µm, Tiefe 120 nm, Spurabstand
1,6 µm.
Die Auswertung der Streifen bei der holographischen und der Speckle-
Interferometrie erfolgt in analoger Weise.