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Medizinische Physik 3: Medizinische Laserphysik [2004]

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288 J. Bille<br />

τ der oberen Laserniveaus gegenüber Strahlungszerfall betragen demgegenüber<br />

rund 10 ns, so z.B. τ =7nsfür KrF ∗ bzw. τ =16nsfür XeF ∗ ,sodass<br />

Besetzungsinversionen relativ leicht herzustellen sind. Der Laserübergang erfolgt<br />

vom ersten angeregten, gebundenen elektronischen Zustand zum elektronischen<br />

Grundzustand.<br />

Verschiedene Photoabsorptionsprozesse beeinflussen im Edelgashalogenidexcimerlaser<br />

die Laseraktivität. Dazu gehören beispielsweise die Photodissoziation<br />

der Halogenmoleküle X2, aus denen gemäß Reaktion (14.3) das Edelgashalogenid<br />

RX ∗ gebildet wird, oder die Photoionisation von angeregten<br />

Edelgasatomen und -molkülen, aber auch die Möglichkeit der Selbstabsorption<br />

der angeregten Edelgashalogenidexcimere RX ∗ .<br />

14.1.5 Konstruktion<br />

Wegen der relativ kleinen Verstärkung müssen Excimerlaser stark gepumpt<br />

werden, um Laseraktion zu erzielen. Die Anregung erfolgt entweder durch<br />

einen intensiven Elektronenstrahl, durch eine elektrische Hochspannungsentladung<br />

oder durch eine Kombination von beiden. Sie findet in einem Gasgemisch<br />

statt, welches typischerweise aus 5–10% des aktiven Edelgases (z.B.<br />

Kr), 0,1–0,5% eines Halogens wie F2 und einem leichten Puffergas wie He<br />

oder Ne bei einem Gesamtdruck von 1,5–4 bar besteht.<br />

Abbildung 14.8 zeigt den Aufbau eines Excimerlasers, der mit einem intensiven,<br />

gepulsten Elektronenstrahl gepumpt wird, wobei die Elektronen<br />

relativistische Geschwindigkeiten aufweisen.<br />

Die Elektronenstromdichte beträgt typisch 5–500 A/cm 2 mit Stromstärken<br />

von 5–50 kA. Die Pulsdauer ist 50 ns bis 1 µs und die Beschleunigungsspannung<br />

0,2–2 MV. Der Elektronenstrahl tritt durch eine 25–30 µm dicke<br />

Metallfolie in das Gasmedium ein, wo typisch 5–50% der Elektronenstrahlenergie<br />

im Gas deponiert werden.<br />

Abb. 14.8. Schema eines elektronenstrahlgepumpten Excimerlasers

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