Pobierz Podręcznik - Przedsiębiorczy Uniwersytet - Instytut Badań ...

znalazł właściwy. Właśnie wynalezienie odpowiedniego polimeru było głównym
wkładem profesora Chou w technikę nanolitografii, obok pierwszej komercjalizacji
nowej technologii i pierwszych urządzeń do produkcji mikroprocesorów,
działających w oparciu o wypracowaną metodę. 6 Technologia wynaleziona przez
profesora Chou wyznaczyła nowy kierunek badań i szybko znalazła naśladowców,
podejmujących próby jej udoskonalenia, jak również wykorzystania w gospodarce.
Wyzwaniem dla badaczy stało się m.in. znalezienie sposobu produkcji, nie
wymagającego stosowania wysokich temperatur oraz dalsze obniżenie kosztów
produkcji i poprawa jakości.
1.2. Dochodzenie do sukcesu
1.2.1. Prace na Uniwersytecie
W 1996 r. na Uniwersytecie w Austin (Texas) nad udoskonaleniem technologii
NIL zaczęli pracować dwaj badacze – Dr S.V. Sreenivasan, inżynier-mechanik,
specjalizujący się w nanotechnologii, absolwent Uniwersytetu Stanowego w Ohio
oraz Dr C. Grant Wilson, inżynier-chemik, specjalizujący się w badaniach związków,
mających zastosowanie w mikroelektronice, absolwent Wydziału Chemii
Organicznej Uniwersytetu Kalifornijskiego. Obydwaj badacze rozpoczęli pracę na
Uniwersytecie w Austin niemal w tym samym czasie (profesor Wilson w 1993 r;
prof. Sreenivasan w 1994). W projekcie badawczym, mającym na celu wynalezienie
nowej technologii produkcji mikroprocesorów i nowych urządzeń do produkcji
tych układów, Sreenivasan skupił się na poszukiwaniu nowych rozwiązań
technologicznych, a Wilson na pracach badawczych dotyczących związków chemicznych,
mających zastosowanie w nanolitografii 7 . Połączenie doświadczenia
chemika z doświadczeniem specjalisty w zakresie mechaniki precyzyjnej zaowocowało
wypracowaniem technologii, rozwijającej badania profesora Chou.
Rezultatem prac badawczych było opracowanie technologii produkcji układów
scalonych, pozwalających na wytwarzanie układów w parciu o proces zachodzący
w temperaturze pokojowej i nie wymagający wysokiego ciśnienia. W przeciwieństwie
do technologii profesora Chou, nowa technologia, nazwana „step and flash
imprint litography” (SFIL) nie wymaga stosowania wysokich temperatur przy
tłoczeniu. Nie wymaga również zastosowania światła laserowego i funkcjonuje
bez skomplikowanych układów optycznych. Główne założenia nowej technologii,
w formie wyników badań, pojawiły się w 1999 r. Produkcja układu scalonego
rozpoczyna się od wytworzenia formy wielkości wafla kwarcowego z wygrawerowaną
strukturą układu. Następnie, roztwór organiczny, nazywany monomerem 8
ultrafioletowym, wprowadzany jest pod formę, a forma jest poddawana działaniu
6 Will Nanotech Preserve Moore’s Law. Forbes Wolfe Nanotech Report, September 2003, s.1.
7 A.E. Braun, S.V. Sreenivasan, Semiconductor International, May 1st, 2005.
8 Prosta cząstka tego samego związku chemicznego, z którego w wyniku polimeryzacji powstaje polimer.
269