Volumen II - SAM

Congreso SAM/CONAMET 2009 Buenos Aires, 19 al 23 de Octubre de 2009
Equipo 2
Reactor de descarga continua.
Figura 2. Ilustración esquemática del reactor RPECVD de descarga continua (glow discharge).
El flujo de monómero puede ser deducido en ambos equipos, a partir de la presión alcanzada respecto de la
presión inicial en el interior de la cámara del reactor, la que es determinada por medio de un medidor
capacitivo, el monómero está contenido en una ampolla de vidrio sumergida en un baño de aceite
termalizado de temperatura controlada, para mantener su presión de vapor constante.
El flujo de gas reactivo se controló con un equipo mass flow controller M.K.S.
La composición superficial y los grupos funcionales fueron determinados usando un microscopio electrónico
de barrido marca Philips provisto de un equipo analizador Edax, y un equipo Fourier transform infrared
spectroscopy (FTIR) (Nicolet Mod. MAGNA 560), respectivamente. El espesor fue medido usando un
perfilómetro mecánico (Mitutoyo Mod. Surftest SV-400) y la dureza por medio de un microdurómetro
(Akashi Mod. MVK-H2).
3. RESULTADOS Y DISCUSIÓN
3.1. Uso de reactor de radiofrecuencia
Con el equipo experimental descrito en Fig.1 (RF), se realizaron recubrimientos de Si3N4 a temperaturas
500ºC y 750ºC, con y sin BIAS utilizando una mezcla de Hexametildisilazano (Z6079) y nitrógeno en
procesos individuales, y en diferentes condiciones de proceso, ver tabla I al término de esta sección, a fin de
evaluar los que asegurasen los mejores resultados posibles.
Los resultados obtenidos se analizaron por medio de las técnicas FTIR y Microscopía electrónica de barrido
en películas de 3 m de espesor.
Fig. 3 Espectros FTIR producidas Z6079 con el aporte de N2.
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