Volumen II - SAM

Figura 2. Esquema del reactor donde de hicieron las capas
Las capas fueron crecidas sobre sustrato de Si-C bajo condiciones normales de presión (50 mbar) y
temperatura de sustrato (750 ºC). Las capas fueron estudiadas por espectrometría Raman y de Rayos-X. El
espectro Raman fue deconvolucionado a bandas D y G usando modelos de línea gaussianas. Los parámetros
Raman, incluyendo la razón de intensidades I(D)/I(G), posiciones de banda y ancho de banda fueron
obtenidos con los parámetros dispuestos. Mediante difracción de Rayos-X se observo incremento de la banda
D y una disminución de la intensidad de la banda G, bajo una disminución en la concentración de metano.
También se observó un corrimiento de ambas bandas al sustituir la dilución de metano. En todos los
espectros de rayos-X se observaron predominantemente dos picos relacionados con los planos
cristalográficos D (111) y D (220).
3. RESULTADOS Y DISCUSIÓN
En nuestro caso no se ha podido establecer una relación entre los tiempos de depósito y las intensidades de
los picos de difracción.
Figura 2. Espectro de Rayos-X de la capa con dilución de 1 sccm de CH4
En las capas obtenidas a partir de concentraciones de metano menores, domina el pico (111). Sin embargo,
para concentraciones mayores de Metano en la composición del gas no se observa una relación clara.
Se observó, que la orientación preferencial de crecimiento de los cristales esta relacionada con la
concentración de Metano. Para proporciones de Metano bajas, la orientación preferencial sería la dirección
(111), para superiores (100) y con mas Metano sin una orientación preferencial definida.
Para una red cúbica como el Diamante, la relación entre la distancia interplanar y los parámetros de la red
fueron calculados por
2 2
a = d⋅ h + k + l
2
1036
n ⋅λ
d =
2 ⋅ sen ( θ )